판매용 중고 ACCORD 400 #9185112
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ACCORD 400은 semiconductor 장치 제조에 사용하기 위해 ConcurTEq Inc.에서 개발 한 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 도구는 높은 처리량 환경에서 작동하는 특수 회전 브러쉬 (rotating brush) 를 사용하여 웨이퍼와 마스크를 빠르게 청소하도록 설계되었습니다. 이 장치의 드라이브 장비는 폐쇄 루프 (closed-loop) 설계를 사용하여 브러쉬가 드리프트 (drift) 가 거의없는 정밀하고 반복 가능한 동작으로 작동 할 수 있습니다. 장치 의 "컨트롤 '" 시스템' 은 "유저 인터페이스 '를 제공 할 뿐 아니라" 머신' 을 설치 하고 제어 할 수 있는 쉬운 방법 을 제공 하도록 설계 되었다. 400 웨이퍼와 마스크 스크러버는 이중 브러시 청소 장치를 사용합니다. 주 청소 브러쉬는 고속 및 저진동 수평 이동을 사용하여 웨이퍼, 마스크, 웨이퍼 프레임에서 입자, 먼지, 오일을 스크러브 및 제거합니다. 보조 브러쉬 (secondary brush) 는 기본 브러쉬에 의해 완전히 제거되지 않은 잔류 입자와 유체를 제거하도록 설계되었습니다. 이것은 웨이퍼 침식을 방지하고 둘레 영역을 오염으로부터 보호합니다. 선택 된 "웨이퍼 '와" 마스크' 는 수작업 하거나 "로봇 '암 을" 스크러버' 실 에 사용 하여 삽입 할 수 있다. 밀폐물 (airtight seal) 이 제자리에 있으면 사용자는 사용자 설명서나 제어 시스템 (Control Machine) 을 사용하여 스크러빙 프로세스를 시작할 수 있습니다. ACCORD 400 은 완전 자동화 모드에서 작동하며, 사용자는 브러쉬 속도 (Brush Speed) 및 지속 시간 (Duration) 과 같은 매개변수를 조정하여 철저한 청소 프로세스를 보장할 수 있습니다. 최대 4 "그램 '의" 브러쉬' 장력 을 지닌 "스크러버 '는 최고 효율성 의 입자 를 제거 하고" 스크러빙' 봉 의 불필요 한 마모 를 줄인다. "스크러버 '는 또한" 웨이퍼' 와 "브러쉬 '머리 사이 의 조절 가능 한 공기 부피 를 허용 하여 최적의 스크러빙 효율성 을 보장 한다. 이 "챔버 '에는 모든 흙 입자 를 포착 하고, 유지 하고, 그리고 마침내 추방 하여 깨끗 한" 웨이퍼' 표면 을 만든다. 대강 필터는 또한 입자 오염의 위험을 줄입니다. 이 도구는 적당한 무게와 소음 수준을 갖추고 있으며 에너지 효율적입니다. 400 (400) 은 반도체 장치 제작 환경의 엄격한 웨이퍼 및 마스크 청소 요구 사항을 충족하도록 설계된 매우 직관적이고 신뢰할 수있는 스크러빙 머신입니다. 다양한 프로그래밍 가능한 설정을 갖춘 사용자는 브러쉬 속도 (Brush Speed), 공기 볼륨 (Air Volume) 및 기타 매개변수를 조정하여 웨이퍼와 마스크를 빠르고 효과적으로 청소할 수 있습니다. 스크러빙 머신 (scrubbing machine) 은 상업 및 산업 환경에서 빠르고 효율적인 클리닝 애플리케이션에 적합합니다.
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