판매용 중고 ACCORD 400 #293656296

ACCORD 400은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 기계는 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 의 표면을 청소하고 스크러빙하여 에칭 또는 기타 프로세스에서 잔류 물을 제거합니다. 이 제품은 레이저 및 광학 검사 기능이 통합된 자동화된 장비입니다. 이 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 스테인리스 스틸 프레임과 일련의 회전 디스크로 구성됩니다. 디스크는 DC Motor (DC 모터) 로 구동되며 조절 가능한 속도로 작동하도록 설계되었습니다. 스크러버 (scrubber) 는 통제 된 환경을 가지고 있으며 웨이퍼 또는 마스크 표면의 교차 오염을 줄이기 위해 설계되었습니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 볼 베어링을 사용하는 장력 구동 시스템을 특징으로하며 최대 스크러빙 압력을 전달하도록 설계되었습니다. 400에는 최첨단 레이저 및 광학 검사 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계는 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 의 결함을 검사하며 표면 질감 또는 미세한 입자의 차이를 감지하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 스크러버는 또한 통합 된 SPC (통계 프로세스 제어) 를 갖춘 통합 프로세스 및 프로덕션 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. 이를 통해 스크러버 (scrubber) 는 스크러빙 프로세스의 일관성을 모니터링하고 부적합한 피쳐를 감지할 수 있습니다. 스크러버에는 두 가지 유형의 연마 헤드가 있습니다. 평평한 머리와 모퉁이 머리. 플랫 헤드 (flat head) 는 웨이퍼 서피스와 같은 평면 서피스에 이상적이며, 코너 헤드 (corner head) 는 복잡한 모양이나 피쳐가 있는 영역에 더 적합합니다. "스크러버 '의 조절 속도 는" 웨이퍼' 나 "마스크 '가 가장 효율적 인 방법 으로 필요 한 수준 까지 연마 된다. ACCORD 400에는 또한 스크러빙 프로세스 (scrubbing process) 환경이 필수 매개변수 내에 유지되도록 하는 습도 제어 도구가 있습니다. 또한, 스크러버 (scrubber) 는 또한 스크러빙 과정에서 생성 된 입자를 포획하는 먼지 수집 자산을 특징으로합니다. 이 먼지 수집 모델 (dust collection model) 은 긁힌 표면이 먼지나 다른 오염 물질로부터 해방되도록 합니다. 400 "웨이퍼 '와" 마스크 스크러버' 는 "스크러빙 '공정 의 정확성 과 일관성 을 보장 하고, 폐기물 을 줄여 생산성 을 증대 시키는 데 도움 이 되므로, 반도체 산업 에 훌륭 한 선택 이다. 이 기계는 완전히 자동화되어 있으며, 통합 레이저 및 광학 검사 기능, 조절 가능한 스크러빙 속도, 먼지 수집 (dust collection) 및 습도 제어 장비를 갖추고 있습니다.