판매용 중고 ACCORD 400 #179607
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ID: 179607
Wafer washer / Substrate cleaner, 6"-8"
Vacuum chuck: 10" Diameter
Accommodates 3" - 8" wafers
Round / Square substrates / Plates: Adjustable
(2) Dispense nozzles
Soft brush cleaner.
ACCORD 400은 반도체 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 표면의 최대 청결성과 위생성을 제공하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 강력한 브러시 디자인, 고급 액티브 카본 체인 클리닝 장비, 여러 가지 클리닝 및 린싱 (rinsing) 모드를 갖추고 있어 표면 클리닝 결과를 최적화할 수 있습니다. 400은 내부 드럼과 외부 껍질로 구성된 브러시가없는 스크러버입니다. 그것 의 내부 "드럼 '은 강력 한 강모 를 갖추고 있으며, 긁을 수 있는" 웨이퍼' 나 "마스크 '의 크기 에 따라 폭 을 조정 할 수 있다. 외부 "셸 '에는 능동적 인" 탄소' 연쇄 제동 장치 가 갖추어져 있어 내부 "드럼 '의 이동 을 촉진 시킨다. 이 활성 탄소 체인은 20kW 모터로 구동되며 30 ~ 110Hz 사이의 주파수를 조정할 수 있습니다. ACCORD 400은 최대 400 ° C의 온도에 도달 할 수 있으며 달리기 온도는 35-40 ° C입니다. 또한 습식 (wet) 및 건조 (dry) 클리닝 모드 (wet mode) 는 웨이퍼 표면에 과열 된 물을 적용하여 액체와 입자를 제거하는 반면, 건조 (dry) 모드는 강모드의 작용을 사용하여 입자를 제거합니다. 또한 최대 청결을 보장하고 오염 위험을 줄일 수있는 린스 (rinse) 기능이 있습니다. 어코드 400 (ACCORD 400) 에는 자체 진단 장치가 장착되어 있어 운영자가 스크러버를 모니터링하고 불규칙성을 해결할 수 있습니다. 또한 운영자 승인 없이 스크럽이 발생하는 것을 방지하기 위한 조절 가능한 안전 정지 (Safety Stop) 기능과 최고 품질의 청소 (Clean) 를 보장하는 자동 결함 탐지기 (Automated Defect Detection Machine) 가 있습니다. 400 은 항공 우주, 반도체, 의료 산업 에 사용 하도록 설계 되었으며, 민감 한 재료 에 대한 정밀 작업 을 수행 하는 데 적합 한 선택 입니다. 광범위한 기능을 통해 ACCORD 400은 최대 청결, 효율성 및 위생 기능을 보장합니다.
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