판매용 중고 YJ LINK AUD-12Y #9290158

YJ LINK AUD-12Y는 반도체 및 광전자 산업에서 300mm 웨이퍼를 처리하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 처리 장비에는 로봇, 선형 트랙 및 DTM 컨트롤러가 있습니다. 카세트에서 FOUP (Front Opening Unified Pods) 및 특수 취급 목적으로 웨이퍼를 전송하는 데 사용됩니다. AUD-12Y는 100 300mm 웨이퍼/h 전송 속도가 가능하며, 정밀도가 높은 포지셔닝 선형 트랙 덕분에 약 ± 0.1mm의 정확도를 갖습니다. 로봇은 6 축 모델이며, 선형 트랙의 스트로크 길이는 1200mm입니다. 로봇은 최대 25Kg의 웨이퍼 급을 모두 처리 할 수 있습니다. 또한 안전하지 않은 충돌이 발생하기 전에 로봇을 중지하는 충돌 탐지 시스템 (Collision Detection System) 이 있습니다. DTM (Device Transfer Machine) 컨트롤러는 로봇 컨트롤러, 선형 트랙 컨트롤러, 에지 정렬 컨트롤러의 세 가지 주요 요소로 구성됩니다. "로봇 '컨트롤러는" 로봇' 이동을 제어하고 선형 트랙 컨트롤러는 "로봇 '의 궤적을 기준으로" 선형 트랙' 에 명령을 전송하고, 가장자리 정렬 컨트롤러는 선형 트랙에서 신호를 수신하여 "웨이퍼 에지 '정렬에 사용합니다. YJ LINK AUD-12Y 웨이퍼 핸들러에는 25 개 또는 50 개의 웨이퍼 슬롯으로 구성된 카세트에서 웨이퍼를 로드하는 데 사용되는 카세트 로더 (Cassette Loader) 도 있습니다. 이 메커니즘은 로봇이 작동하는 동안 카세트의 자동 변경을 용이하게합니다. AUD-12Y의 또 다른 독특한 기능은 FOUP 로더입니다. 이 메커니즘은 고유 한 이중 벨트 장치 (dual-belt unit) 로 구성되며, 로봇이 파퍼를 FOUP로 전달할 수 있을 뿐만 아니라 얇은 전극의 루핑 (looping) 이나 탱글링 (tangling) 으로 인해 발생할 수있는 손상을 방지합니다. 이 웨이퍼 처리 기계는 신뢰성이 높고 컴팩트 한 디자인이 있으므로 C 모델 핸들러에 비해 공간을 절약합니다. 또한 YJ LINK AUD-12Y는 구성 기능이 뛰어나며 고유한 공장 요구 사항을 충족하도록 사용자 정의할 수 있습니다. 이러한 모든 기능은 AUD-12Y를 반도체 및 광전자 어셈블리 산업에 이상적인 웨이퍼 핸들러로 만듭니다.