판매용 중고 YASKAWA XU-RVM4100 / XU-RVM4110 #293642781

YASKAWA XU-RVM4100/XU-RVM4110 Wafer Handler는 반도체 및 광자 장치에서 웨이퍼 디스크를 매우 정밀하게 처리하도록 설계된 로봇 장비입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 1 ~ 2 개의 카세트 또는 프레임이 적재 된 직경 600mm의 웨이퍼 주위를 움직일 수있는 로봇 팔로 구성됩니다. 로봇 암에는 강력한 모터가 있으며, 수평 및 수직 이동을 위해 최고 0.4Hz 속도를 낼 수 있습니다. XU-RVM4100/XU-RVM4110에는 고해상도 비전 (vision) 시스템이 장착되어 있어 불필요한 레이저 간섭 및 진동 없이 정확한 웨이퍼 위치와 파악이 가능합니다. 웨이퍼 핸들러는 XU-RVM4000 시리즈 로봇 플랫폼을 기반으로하며, 이는 매우 컴팩트한 폼 팩터 (form factor) 와 간단한 사용자 인터페이스를 특징으로합니다. 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 는 안정적인 정확도로 웨이퍼 및 기타 객체를 강력하게로드 및 언로드할 수 있습니다. 또한 YASKAWA XU-RVM4100/XU-RVM4110은 고객의 요구 사항을 충족하기 위해 여러 가지 사용 시점 위치와 유연한 모듈식 설계를 지원합니다. 웨이퍼 처리 용량은 사이클당 최대 50 웨이퍼, 최대 웨이퍼 용량은 350 웨이퍼 조각입니다. 웨이퍼 핸들러는 이중 충돌 감지 센서 및 여러 수준의 ESD 보호 (ESD Protection) 와 같은 다양한 안전 기능으로 설계되었습니다. 또한 "로봇 '암 내부 의 압력" 센서' 를 사용 하여 "로봇 '과" 웨이퍼' 사이 의 접촉 을 감지 하여 손상 을 방지 한다. XU-RVM4100/XU-RVM4110은 SEMI-F47 표준 및 CE-mark를 준수합니다. 또한 SEMI S2-0806, S2-0807, S2-0808, S2-0903, S2-1106, N1-0503, E14 및 기타 안전 표준 요구 사항을 충족합니다. YASKAWA XU-RVM4100/XU-RVM4110 웨이퍼 핸들러는 최고 수준의 유연성과 속도, 정확성 및 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 제품은 반도체 및 광자 (photonics) 애플리케이션을 위해 대량의 웨이퍼를 처리할 수 있는 안정적이고 경제적인 솔루션을 제공합니다. 이 웨이퍼 핸들러는 효율성, 생산량 향상, 생산량 증가를 사용자에게 제공합니다.