판매용 중고 YASKAWA XU-RCM6501 #293656479

YASKAWA XU-RCM6501은 반도체 웨이퍼 처리에 적합한 로봇 기반 웨이퍼 핸들러입니다. 제어 환경에서 2 인치 단일 웨이퍼를 고정하고 운송 할 수 있도록 설계되었습니다. XU-RCM6501은 자동 생산 라인에 사용할 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. YASKAWA XU-RCM6501은 단일 암 및 트윈 암 구성으로 제공됩니다. 단일 암 구성은 최대 용량이 75kg 인 8 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 더블 암 구성은 최대 용량이 118.8kg 인 8 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 분당 최대 200 사이클의 속도를 달성 할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러에는 서보 모터와 절대 인코더로 구동되는 고정밀 3 축 로봇 암이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼를 정확하고 반복적으로 배치할 수 있습니다. 또한 비전 카메라 (Vision Camera) 와 레이저 거리 측정 시스템을 통합하여 정확도 및 반복 성을 향상시킵니다. XU-RCM6501은 360도 회전을 제공하는 플리퍼 암 (flipper arm) 을 갖추고 있으며 직경이 최대 300mm 인 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 플리퍼 암 (flipper arm) 은 웨이퍼가 생산 라인의 여러 스테이션 사이를 여행 할 수 있도록 허용합니다. YASKAWA XU-RCM6501에는 웨이퍼 처리를 위해 향상된 안전성을 제공하도록 설계된 통합 안전 시스템도 포함되어 있습니다. 안전 장치 (Safety System) 에는 로봇의 적용 가능한 영역에 대한 커버와 예상치 못한 오류를 방지하는 센서가 포함됩니다. 또한 XU-RCM6501은 캐리어 자동 로드 및 언로드 (automatic loading and unloading), 로봇 암 자동 클리닝 (automatic cleaning of the robot arm), 다양한 프로그래밍 가능한 속도 설정 등 설치를 사용자 정의하기 위한 다양한 옵션을 제공합니다. 전반적으로, YASKAWA XU-RCM6501은 다양한 크기의 웨이퍼를 정확하고 안전하게 처리 할 수있는 효율적이고 안정적인 로봇 기반 웨이퍼 핸들러입니다. XU-RCM6501 의 고급 기능 (Advanced Features of XU-RCM6501) 은 웨이퍼의 일관성 있고 고속 처리가 필요한 생산 라인에 적합한 제품입니다.