판매용 중고 YASKAWA XU-RC350D-J03 #293752524

ID: 293752524
Robot.
YASKAWA XU-RC350D-J03은 반도체 제조 시설 내에서 웨이퍼 자동 전송을 위해 설계된 고급 웨이퍼 처리 로봇입니다. 이 "로봇 '은" 웨이퍼' 처리 작업흐름 의 필수적 인 부분 으로서, 여러 가지 생산 단계 에 걸쳐 섬세한 "실리콘 웨이퍼 '를 정확 하고 신뢰 할 수 있도록 세심 하게 설계 되었다. XU-RC350D-J03 (XU-RC350D-J03) 의 핵심에는 고성능 로봇 암이 있으며, 전송 스테이션, 검사 도구, 저장 장치 등 다양한 처리 장비 사이에서 신속하고 정확하게 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. "로봇 '암 에는 여러 가지 정밀 한" 센서' 와 "액츄에이터 '가 장착 되어 있는데, 이것 은 매우 정밀 하고 속도 가 뛰어난" 웨이퍼' 를 움직 이며 손상 이나 오염 의 위험 을 최소화 한다. YASKAWA XU-RC350D-J03 (YASKAWA XU-RC350D-J03) 의 주요 기능 중 하나는 첨단 모션 제어 시스템으로, 동적 제조 환경에서 부드럽고 원활하게 작동할 수 있습니다. "로봇 '은 정밀 한 경로 와 순서 를 따르도록" 프로그램' 되어 "웨이퍼 '가 오류 없이 효율적 으로 전달 된다. 이 정확한 모션 제어 (motion control) 기능은 생산 처리량을 최적화하고 반도체 제조에서 일관된 품질을 보장하는 데 필수적입니다. 또한 XU-RC350D-J03에는 고급 비전 (Advanced Vision) 시스템이 장착되어 있어 자동화된 플랫폼에서 웨이퍼를 정확하게 찾아 식별할 수 있습니다. 기계 시력 기술 (Machine Vision Technology) 을 사용하여 로봇은 웨이퍼 위치 (Wafer Position) 와 방향 (Orientation) 의 변화에 빠르게 적응하여 제조 공정의 여러 단계에서 빠르고 효율적인 웨이퍼 처리를 가능하게합니다. 이 실시간 시각적 피드백은 또한 wafer transfer 작업 중 설정 시간을 줄이고 오류를 최소화하는 데 도움이 됩니다. 안전 측면에서, YASKAWA XU-RC350D-J03은 사고를 예방하고 운영자와 장비의 안녕을 보장하기 위해 여러 계층의 보호를 통해 설계되었습니다. 이 "로봇 '에는 길 에서 장애물 과 장애물 들 을 탐지 하는 안전" 센서' 가 장착 되어 있어 즉시 멈추고 충돌 을 피한다. 또한, 로봇 암은 의도하지 않은 움직임 또는 오작동을 방지하기 위해 내장 fail-safe 메커니즘으로 설계되어 반도체 제조 환경에서 전반적인 운영 안전성을 향상시킵니다. 또한 XU-RC350D-J03은 업계 표준 통신 프로토콜 및 인터페이스와의 호환성 덕분에 기존 제조 인프라, 장비와 손쉽게 통합할 수 있도록 설계되었습니다. 이렇게 하면 웨이퍼 처리 도구, 공장 자동화 시스템, 감독 제어 소프트웨어 (Supervisory Control Software) 를 통한 원활한 연결을 통해 웨이퍼 처리 작업을 중앙 집중식으로 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 YASKAWA XU-RC350D-J03은 반도체 제조에서 웨이퍼 처리를 위한 최첨단 솔루션으로, 처리 도구 간 웨이퍼 전송에 탁월한 성능, 안정성 및 정확성을 제공합니다. 고급 로봇 기술, 모션 컨트롤 기능, 비전 시스템, 안전 기능을 갖춘 이 웨이퍼 핸들러는 최신 반도체 제조 설비에서 고해상도 (high-throughput), 고밀도 (high-precision) 웨이퍼 처리 작업을 가능하게 하는 데 적합합니다.
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