판매용 중고 YASKAWA XU-RC350D-J03 #293615372

YASKAWA XU-RC350D-J03은 반도체 처리 및 웨이퍼 프로브를 위해 안정적으로 이동, 기울기 및 스핀 습식 웨이퍼를 처리하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 기계는 특히 300mm 및 200mm 웨이퍼 크기에 맞게 만들어집니다. 수직 또는 수평 구성이 있으며 360 ° 회전 기능이 있는 고정 보울이 있습니다. XU-RC350D-J03은 테이블 모션 장비와 볼 모션 시스템을 기반으로합니다. 한 번에 하나의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 반복 가능한 기울기 (tilt) 및 스핀-습식 (spin-wet) 작업도 가능합니다. 테이블 동작 장치에는 최대 900mm, 0.01mm 위치 정밀도 및 10mm/s 고속 동작의 수직 이동이 있습니다. 보울 모션 머신은 0.25 ° 의 반복 성과 최대 가속도 250 °/s2의 완전한 360 ° 회전 기능을 갖습니다. YASKAWA XU-RC350D-J03 은 (는) 프로세스에 따라 웨이퍼 위치의 영역 크기를 조정하기 위한 자동 중심 장치를 갖추고 있습니다. "컴퓨터 '는 저장 을 위한" 웨이퍼 카세트' 와 "웨이퍼 '를 위한 자동 적재 로 구성 할 수 도 있다. XU-RC350D-J03은 내구성과 에너지 효율성을 모두 고려하여 설계되었습니다. 웨이퍼 처리를 위해 -5 ° C ~ 90 ° C의 넓은 온도 범위를 가지며 대기 압력 범위 (0.7MPa ~ 1.1MPa) 내에서 작동 할 수 있습니다. 이더넷, PoE (Power over Ethernet) 및/또는 USB를 통한 예방 유지 보수 및 외부 네트워크 통신 기능을 위한 진단 툴이 내장되어 있습니다. YASKAWA XU-RC350D-J03은 작고 가벼운 디자인으로, 생산 라인 내에 쉽게 설치할 수 있습니다. 또한 학습 곡선 (learning curve) 을 줄이기 위해 직관적 인 프로그래밍과 운영을 통해 매우 인체 공학적이고 사용자 친화적으로 설계되었습니다. XU-RC350D-J03은 올인원 (All-in-One) 웨이퍼 핸들러로, 다양한 프로세스에 안정적인 작동과 유연성을 제공합니다.