판매용 중고 YASKAWA XU-F3000-CN04 #293614933
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YASKAWA XU-F3000-CN04는 생산 직물 및 연구 연구소의 요구를 충족시키기 위해 설계된 디지털 웨이퍼 처리 장비입니다. 시스템의 작은 설치 공간 (small footprint) 을 통해 동일한 운영 라인에서 여러 개의 다른 모듈 (module) 과 컴포넌트 (component) 를 사용할 수 있습니다. XU-F3000-CN04에는 정확하고 반복 가능한 작동을 보장하는 고급 피드백 (feedback) 제어 장치가 장착되어 있으며, 프로그래밍 또는 설치가 필요하지 않습니다. 이 기계는 4 축 드라이브를 자랑하며, 수동 위치 지정이 필요 없으며, 정확한 웨이퍼 이동을 보장합니다. 4 개의 축 각각에는 자체 드라이브 모터 (Drive Motor) 와 독립 인코더 (Independent Encoder) 가 장착되어 있으므로 다양한 응용 프로그램에 매우 모듈적이고 적응할 수 있습니다. 또한, 견고한 기계적 설계는 최대 250lbs의 로드 용량을 처리 할 수 있으므로 다양한 웨이퍼 처리 (wafer-handling) 프로세스에 적합합니다. 사전 프로그래밍된 제어 도구 (Pre-Programmed Control Tool) 는 정확한 동작 프로파일을 제공하여 웨이퍼 전송 중에 웨이퍼가 손상되거나 크게 잘못 표시되지 않습니다. 자산의 고유 한 동작 제어는 선형 보간 (linear interpolation) 을 기반으로 하여 5 미크론의 정확성 내에서 웨이퍼를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 이 모델은 정확성, 반복 가능한 결과, 높은 처리량을 보장하기 위해 다양한 센서와 피드백 (feedback) 장치를 사용합니다. YASKAWA XU-F3000-CN04는 또한 와퍼 (wafer) 및 인력을 보호하기 위해 설계된 다양한 안전 기능을 제공합니다. 이중의 게이트 도어 (Gate Door) 인터 록 (Interlock) 장비는 양쪽 게이트가 생산이 시작되기 전에 안전하게 폐쇄되어 부상 위험이 줄어듭니다. 또한, "센서 '가 이상 을 탐지 하면 장치 를 정지 시키는 자동 차단 기능 (automatic shutoff feature) 을 탑재 하여 사고 나 장비 오작동의 위험성 을 감소 시킨다. 전반적으로, XU-F3000-CN04 는 다양한 애플리케이션에 적합한, 뛰어난 성능과 신뢰성을 갖춘 웨이퍼 처리 시스템입니다. 고급 피드백 제어 툴과 듀얼 게이트 인터록 (Dual Gate Interlock) 자산은 정확하고 반복 가능한 동작을 보장하며 잠재적 위험으로부터 인력과 웨이퍼를 보호합니다. 또한, 고도로 모듈식 설계를 통해 생산 라인의 추가 모듈 (module) 과 컴포넌트 (component) 를 통합하여 반도체 생산 개발을 지속하기 위한 이상적인 선택입니다.
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