판매용 중고 YASKAWA TBD #9187160

반도체 웨이퍼 전송 장치 인 YASKAWA TBD는 완전 자동화 된 비 접촉 웨이퍼 처리 장비입니다. 유연하고 모듈식 (modular) 설계를 통해 맞춤형 솔루션을 통해 특정 사용자 요구를 충족할 수 있습니다. TBD에는 핸들러, 로드 포트 및 로봇의 세 가지 독립 모듈이 있습니다. 핸들러 (Handler) 모듈은 깨끗한 환경에서 안전하고 안전하게 웨이퍼를 전송하도록 설계되었으며, 사용자 요구를 충족하는 표준 (Standard) 구성요소와 사용자 정의 (Custom) 구성요소를 모두 포함합니다. 그것 은 "웨이퍼 챔버 '에 안정 된 환경 을 유지 하고 직관적 인" 온보드 세이프티 라이트 커튼' 을 유지 하는 양압 "시스템 '을 갖추고 있다. Load Port 는 YASKAWA TBD 와 호스트 유닛 간의 인터페이스입니다. 비접촉식 웨이퍼 처리를위한 진공 그리퍼뿐만 아니라, 특정 웨이퍼를 인식, 식별 및 선택하는 멀티 축 (multi-axis) 로봇 암이 특징입니다. 또한 대부분의 표준 웨이퍼 카세트 (wafer cassette) 와 호환되며, 사용자 요구 사항에 맞게 사용자 정의 카세트와 호환됩니다. 로봇 모듈 (Robot module) 은 관절 식 셔틀 암 설계를 통해 핸들러 (Handler) 에서 로드 포트 (Load Port) 로 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. 다양한 센서로 구성하여 웨이퍼 위치를 감지하고 적절한 전송을 보장합니다. 또한 기본 웨이퍼 정렬 작업도 지원합니다. TBD는 신뢰성이 높아 전송 오류와 다운타임을 줄여줍니다. 이 제품은 다양한 유형의 웨이퍼 (wafer) 및 카세트 (cassette) 와 호환되며, 실제로 존재하는 모든 호스트 시스템과 상호 작용할 수 있습니다. 소프트웨어는 매우 직관적이고 사용자 친화적이며, 다양한 매개변수를 쉽게 구성할 수 있습니다. 전반적으로 YASKAWA TBD는 청소 실 자동화 및 반자동 웨이퍼 처리를위한 매력적인 솔루션입니다. 많은 웨이퍼 처리 (Wafer Handling) 작업을 위한 안정적이고 경제적인 솔루션을 제공합니다 (사용자 요구에 관계없이).