판매용 중고 YASKAWA SV3/XRC #293614917

YASKAWA SV3/XRC 웨이퍼 핸들러는 자동화된 웨이퍼 프로세싱의 증가하는 요구를 충족하도록 설계된 고성능, 비용 효율적인 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 이 장치는 고온 및 먼지가 가득 찬 생산 환경에서 견고하고 안정적인 작동을 제공하도록 설계되었습니다. 회전 트래버스 메커니즘이 적용된 고정 프레임 (Stationary Frame) 이 특징이며, 이를 통해 위치 정밀도가 매우 높고 생산성이 향상됩니다. 이 디바이스의 모듈식 구성을 통해 용량 증가, 다운타임 감소, 생산성 향상을 위해 쉽고 빈번하게 업그레이드할 수 있습니다 (영문). SV3/XRC 웨이퍼 핸들러는 정밀 가공 기어 트레인에 결합 된 강력한 모터에 의해 구동됩니다. 이 기어 트레인 (Gear Train) 은 백래시가 매우 낮고 견고성과 함께 최대 1 ° m의 반복 가능한 위치 정밀도를 제공 할 수 있습니다. 또한, 전동기는 브러쉬가 없으며 저전압 작동과 소프트 스타트 (soft-start) 기능을 갖춘 고성능 제어 시스템으로 구동됩니다. 이 도구에는 작업 설정 (job setup) 과 실행 (execution) 을 단순화하도록 설계된 여러 가지 자동화 기능이 있습니다. 여기에는 정적 및 동적 빔슬리터 광학과 통합 된 온보드 비전 시스템이 포함됩니다. 비전 (vision) 시스템은 정확도가 높은 웨이퍼 모서리를 자동으로 정렬하고 옵티시언 (optician) 에 오류 프리 웨이퍼 (free wafer) 포지셔닝을 제공할 수 있습니다. 또한이 장치에는 IEEE 488.2, RS-232 및 SCPI와 같은 고급 프로그래밍 인터페이스가 장착되어 있습니다. 강력한 모터 (motor) 및 자동 설정 (automated setup) 과 결합된 이러한 기능을 통해 쉽고 빠르게 작동할 수 있습니다. 이 장치 는 신뢰성 이 높으며, 심지어 더러운 공장 바닥, 고온 작동 조건 과 같은 혹독 한 환경 에서도, 고장 없이 작동 하도록 설계 되었다. 또한 내장형 모터 과부하 방지 (overload protection) 및 E-Stop (E-Stop) 명령과 같은 다양한 안전 기능을 통해 모든 동작을 신속하게 중지할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 최대 10 개의 프로그램을 저장하도록 구성 될 수 있습니다. 즉, 다른 웨이퍼와 다른 처리 작업 사이에서 빠르게 전환하기 쉽습니다. 이를 통해 반도체 제조 및 포장, 회로판, 자동차 전자 부품 등 다양한 업계의 웨이퍼 (wafer) 처리 요구에 이상적인 솔루션이 됩니다.