판매용 중고 YASKAWA SGD-01AN #193016

YASKAWA SGD-01AN 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 청소실 환경에서 반도체 웨이퍼의 처리 및 위치 제어에 사용되는 로봇 암입니다. +/- 0.02 mm 의 반복 성과 +/- 0.1 mm의 위치 정확도로 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 이동을 제공하도록 설계되었습니다. SGD-01AN은 직경 200mm, 무게 7.7kg 의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 로봇 암 (robot arm) 은 6도 자유 구조를 특징으로하며, 확장 된 모션 범위 및 다용도를위한 추가 옵션 손목 모듈이 있습니다. 수직 범위는 880mm, 팁 각도는 360 °, 회전 범위는 어깨 축의 경우 ± 340 °, 엘보우 축의 경우 -235 ° 입니다. 로봇 암에는 RCL (Robotic Command Language) 및 NCL (Network Command Language) 을 통한 통신을위한 이더넷 포트도 포함되어 있습니다. YASKAWA SGD-01AN (YASKAWA SGD-01AN) 에는 다양한 웨이퍼 애플리케이션의 요구에 맞는 다양한 모션 프로파일을 제공하는 고도로 구성 가능한 제어 모듈이 장착되어 있습니다. 다양한 모션 제어 기능을 구성할 수 있으며, 파형, 보간 명령, 동기 명령, 절대/증분 참조, 홈 참조, 교육 속성 생성, 센서 입력 및 안전 기능을 사용할 수 있습니다. 클린 룸 작업은 Class 10 클린 에어 필터 시스템 (콘센트 공기, 아스피레이터 공기 및 에어 탱크를위한 필터 포함) 을 사용하여 지원됩니다. 따라서 "웨이퍼 '는 가능 한 한 많은 청결 과 예방 을 통해 처리 된다. SGD-01AN 웨이퍼 핸들러는 오랜 사용 기간 동안 안정성과 성능을 제공하도록 설계되었습니다. "로봇 '암 은 유지 보수 없이 24 시간 까지 계속 작동 할 수 있다. 또한 업계 표준 PLC 컨트롤러와 전압 키퍼 컨트롤러 (Voltage Keeper Controller) 가 있으며, 둘 다 안정적인 제어 입력 및 피드백 규제를 제공합니다. 또한 YASKAWA SGD-01AN은 청소 실 환경에 필수적인 모션 안전 기능을 지원합니다. 또한 지속적인 동작 감지, 장애물 회피, 손목 가드 커버 (wrist guard cover) 를 허용하여 처리 프로세스 전반에 걸쳐 운영자 안전 및 오류 회피를 초래합니다. 전반적으로, SGD-01AN은 안정적인 성능과 모션 안전 기능을 갖춘 효율적이고 강력한 웨이퍼 처리 솔루션을 제공합니다. 정확한 이동, 확장 범위 및 구성 가능한 모션 프로파일을 갖춘 YASKAWA SGD-01AN은 웨이퍼 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.