판매용 중고 YASKAWA CACR-PR01 #193015
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YASKAWA CACR-PR01은 반도체 제조 프로세스를 위해 설계된 고속 웨이퍼 핸들러입니다. 고정밀도 웨이퍼 (Wafer) 포지셔닝 정확성과 빠른 제스처 기반 운영을 위한 고급 서보 제어 장비로 설계되었습니다. CACR-PR01은 두 개의 고정밀 DC 서보 모터, 시간 절약형 Ymaster 컨트롤러 및 사용자 친화적 인 터치 패널 화면을 통합하여 안정적인 웨이퍼 처리 시스템을 제공합니다. YASKAWA CACR-PR01은 최대 100 그램의 최대 200 와퍼 (직경 3-4 ") 를 처리 할 수 있습니다. 통합 리프트/로드 (lift/load) 및 언로드 스테이션을 통해 단일 카세트로 안전하고 쉽게 전송할 수 있습니다. CACR-PR01에는 정확한 웨이퍼 포지셔닝 및 방향을 위해 기울기, 팬, 회전 등 다양한 모션이 포함되어 있습니다. 동작 범위는 각각 0.0025mm 및 0.008도의 고정밀 해상도를 갖는 비접촉 선형 축을 특징으로합니다. YASKAWA CACR-PR01에는 고해상도 LED 백라이트 컬러 LCD 터치 스크린이 장착되어 있어 사용자 작업이 간편합니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 는 프로그램 및 메뉴에 빠르게 액세스하여 빠른 설정 및 장치 변경을 가능하게 합니다. 고급 진단은 향상된 웨이퍼 처리 프로세스에 대한 피드백을 제공합니다. CACR-PR01에는 PLC/NC 호환성과 함께 PLC over Ethernet에 데이터를 스트리밍하는 기능도 있습니다. YASKAWA CACR-PR01에는 향상된 마음의 평화를 위해 여러 가지 안전 기능이 포함되어 있습니다. 리프트/로드 스테이션 (lift/load station) 에서 웨이퍼 오버플로 (wafer overflow) 또는 웨이퍼 릴리스를 감지하고 갑작스런 영향 또는 로드 불일치를 감지하고 즉시 작업을 중지할 수 있습니다. 또한 CACR-PR01은 DC 서보 모터에 안전 토크 제한기 (safety torque limiter) 를 제공하여 과도한 토크 상황으로 인한 피해를 방지합니다. YASKAWA CACR-PR01 (YASKAWA CACR-PR01) 은 시간에 민감한 웨이퍼 구성 프로세스를 처리하도록 특별히 설계되었으며 프로세스 사이클 간에 웨이퍼를 빠르게 이동할 수 있습니다. 고급 모션 컨트롤 머신은 안정적이고 안정적인 웨이퍼 이동을 제공합니다. 또한, 사용하기 쉬운 그래픽 인터페이스를 통해 간단한 동작 제어 및 고정밀 웨이퍼 방향을 사용할 수 있습니다. 이는 기존의 웨이퍼 처리 시스템과 비교할 때 향상된 정확성과 반복 성을 제공합니다. 또한, CACR-PR01에는 다양한 안전 기능이 포함되어 있으며, 웨이퍼를 처리 할 때 안심할 수 있습니다.
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