판매용 중고 YASKAWA 5010 #293652550

YASKAWA 5010은 YASKAWA Electric이 반도체 산업에 사용하도록 설계 한 웨이퍼 핸들러입니다. 광범위한 프로세스 작업에 적합한 로봇 암 기반 웨이퍼 핸들러입니다. 200mm에서 600mm 크기의 웨이퍼를 옮길 수 있으며, 200mm는 시간당 최대 250 개의 웨이퍼, 300mm는 시간당 150 개의 웨이퍼를 전송 할 수 있습니다. 3 개의 선형 축 (linear axes) 이 장착되어 있어 구성 요소의 정확하고 정확한 동작을 통해 웨이퍼를 정확하게 처리 할 수 있습니다. 5010은 알루미늄 프레임과 3 선형 축으로 만들어졌으며, 이는 매우 정밀한 서보 모터에 의해 구동됩니다. 웨이퍼 위치와 방향을 인식하고 추적하는 비전 시스템이 특징입니다. 시력 시스템은 다양한 프로세스를 수정하고 웨이퍼를 정확하게 배치할 수 있습니다. 정확한 웨이퍼 처리 기능은 뛰어난 반복성으로 매우 빠른 응답 때문입니다. YASKAWA 5010은 또한 선형 및 회전 축 모두에서 매우 빠르게 움직일 수 있습니다. 컨트롤러는 PLC 기반이며 사용자 친화적이며 쉽게 구성할 수 있습니다. 5010은 또한 효율적이고 통제 된 진공 척 메커니즘을 가지고 있습니다. 이 기능은 웨이퍼 서피스가 손상되지 않도록 하는 동안 웨이퍼의 안전한 보류 (secure holding) 를 제공합니다. 또한, 진공 척 장치 는 "웨이퍼 '를 정확 하고 정확 하게 옮기는 데 도움 이 된다. 또한 웨이퍼 처리 중에 온도를 조절하고 최적의 작업 환경을 제공하는 데 사용할 수 있습니다 (영문). YASKAWA 5010의 고급 안전 기능도 주목할 만합니다. 데이터 스토리지용 소프트 터치 EEPROM (Soft Touch EEPROM) 메모리를 통해 중요한 프로세스 데이터를 안전하게 처리할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 GUI 인터페이스를 사용하면 5010 작업을 쉽게 설정하고 제어할 수 있습니다. 또한 자체 진단 기능을 통해 오류를 쉽게 찾아내고 수정할 수 있습니다. 요약하면, YASKAWA 5010은 다양한 프로세스 작업에 적합한 안정적이고 효율적인 웨이퍼 핸들러로, 200mm ~ 600mm 크기의 웨이퍼를 처리하는 데 사용할 수 있습니다. 고급 안전 기능, 비전 시스템 (vision system) 및 와퍼의 정확하고 안정적인 처리를 보장하는 정확한 척 (chucking) 메커니즘이 있습니다. 또한, 컨트롤러는 사용자 친화적이며 구성 가능하므로 쉽게 작동할 수 있습니다.