판매용 중고 WINS NWS-200R #293589801
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WINS NWS-200R은 고급, 완전 자동화 된 인라인 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비는 매번 높은 정확도로 반도체 웨이퍼를 로드, 언로드, 정렬, 검사, 정렬하도록 설계되었습니다. 최대 1.72mm 두께의 표준 200mm 반도체 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 이 장치는 견고하고 신뢰할 수 있으며, 현재 작동 상태를 식별하기 위해 잘 보이는 작동 부호 (operating sign) 를 제공합니다. 이 시스템은 웨이퍼를 장치의 올바른 위치에 로드 (loading), 언로드 (unloading) 및 정렬하는 임무를 수행하는 로봇 암 (robotic arm) 을 갖추고 있습니다. 이 로봇 암은 X, Y 및 Z 좌표에서 웨이퍼를 정확하게 움직일 수있는 동력 서보 (motorized servo) 에 의해 구동됩니다. 터치 스크린 휴먼 인터페이스 (touch-screen human interface) 를 통해 운영자는 로봇 암 (robotic arm) 의 동작을 프로그래밍하고 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 의 작동 조건을 설정할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 photolithography, chemical vapor deposition 및 ion implantation과 같은 표준 및 고급 기술에 적합합니다. 시력 검사 장치 (vision inspection unit) 는 취급 기계에 들어가기 전에 웨이퍼의 불순물, 입자, 긁힘 및 일반적인 변형을 감지 할 수 있습니다. 이를 통해 웨이퍼가 더 처리되기 전에 손상되지 않습니다. 또한 NWS-200R 은 시간당 최대 300 개의 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있으며 전체 웨이퍼 처리 시퀀스를 신속하게 실행할 수 있습니다. 웨이퍼는 모두 동일한 장치 내에서 정렬, 스핀 코팅, 구운 및 냉각됩니다. 이렇게 하면 다른 준비 단계 또는 마무리 단계 (예: 마스킹 또는 에칭) 로 부드럽게 전환할 수 있습니다. WINS NWS-200R은 유지 보수 및 서비스도 용이합니다. 유지 보수가 적도록 설계되었으며 운영자 지원이 최소화됩니다. 내장형 진단 프로그램에서는 적절한 유지 관리 검사를 수행할 수 있으며, 이 장치의 전원을 끄고, 쉽게 켜질 수 있습니다. 이 장치는 또한 신뢰성이 높은데, 이는 문제가 없는 기간 (extended period of time) 에 걸쳐 작동하도록 테스트되었기 때문입니다. 전반적으로, NWS-200R은 견고한 디자인의 고급 웨이퍼 핸들러로, 향상된 기능과 높은 정확도를 제공합니다. 최첨단 기술 (Advanced Technologies) 과 함께 작동하여 매번 올바른 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치는 유지 보수 (maintenance) 와 서비스 (service) 가 간편하며, 다양한 애플리케이션에 적합한 높은 처리율을 제공합니다.
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