판매용 중고 WINS FSD-200M/A #293642795

WINS FSD-200M/A
ID: 293642795
Wafer inspection system.
WINS FSD-200M/A 웨이퍼 핸들러는 청정실 환경에서 반도체 웨이퍼를 정확하고, 일관성 있고, 효율적으로 전송, 향상 및 찾을 수 있도록 설계된 최첨단 로봇 시스템입니다. 이 장치는 5 축이며, 7 축을 사용할 수 있으며, 카세트를 자동으로 메인 암 그리퍼로 동기화 할 수 있습니다. FSD 버스 (FSD Bus) 라는 인터페이스 통신 프로토콜을 통해 FSD-200M/A 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 주 암 장치, 전송 장치 및 상승 장치를 연결하여 특정 거리 내에서 웨이퍼를 이동 및 전송할 수 있습니다. 또한, 광 스캐너 (optical scanner) 가 주 암 (main arm) 내에 내장되어 필요에 따라 웨이퍼 위치를 결정하고 변경하기 위해 실시간 판독을 수행합니다. FSD-200M/A 웨이퍼 핸들러의 메인 암은 최대 속도가 450mm/sec인 200mm의 그립 용량을 갖습니다. 이송 장치 는 "카세트 '에서" 와우퍼' 를 집어 올려 고가 장치 로 옮기도록 설계 되었다. 고가 장치 는 한 공정 지대 에서 다른 공정 지대 로 "웨이퍼 '를 들어올리고 이동 시키도록 설계 되었으며, 상하 로 이동 할 수 있는" 베이스 플레이트' 와 최대 250mm 떨어진 단일 "웨이퍼 '를 운반 할 수 있는" 리프트' 플랫폼 을 갖추고 있다. FSD-200M/A 웨이퍼 핸들러는 또한 임베디드 디지털 양방향 온도 보상 메커니즘을 특징으로하여 정확한 온도 판독 및 조정을 보장합니다. 이 기능을 통해, 장치는 속도를 조정하고, 다른 프로세스에 적응하도록 계수를 강제할 수 있습니다. 또한 FSD-200M/A 웨이퍼 핸들러의 고급 비전 (advanced vision) 기능을 통해 항상 웨이퍼를 정확하게 선택하고 배치할 수 있습니다. FSD-200M/A 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 24V DC 전원으로 구동되며 내구성이 뛰어난 강철 프레임 및 도금으로 구성되어 있어 안정성이 높으며 가혹한 작동 조건을 견딜 수 있습니다. 고급 기능과 함께 제공되는 전반적인 디자인과 성능으로 인해 WINS FSD-200M/A 는 다양한 첨단 반도체 프로세스 애플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다.
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