판매용 중고 VARIAN E19013780 #148779

VARIAN E19013780 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 반도체 웨이퍼 제조 환경 내에서 웨이퍼를 전송하도록 설계된 자동 로봇 시스템입니다. 웨이퍼 핸들러는 X/Y/Z 모션 어셈블리, 웨이퍼 트랜스퍼 암 및 메인 CPU로 구성된 메인프레임으로 구성됩니다. 메인프레임은 프로세스 전반에 걸쳐 wafer 의 다양한 구성요소를 물리적으로 이동합니다. X/Y/Z 동작 어셈블리는 X, Y 및 Z 축 드라이브 모터 (일반적으로 진공 및 중력 슬라이드 트랙으로 로드 캐리지 이동) 로 구성됩니다. Z축 드라이브 모터 (Z-axis drive motor) 는 웨이퍼의 진공 및 중력 위치를 로봇 팔에 조정할 수 있습니다. 웨이퍼 트랜스퍼 암 (wafer transfer arm) 은 전송 과정에서 웨이퍼를 운반하고 회전하는 램 유형 액추에이터입니다. 기본 CPU는 지정된 지침에 따라 이동 (movement) 및 기타 동작을 제어합니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 동일한 작업셀 내에서 다양한 구성으로 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. 웨이퍼 트랜스퍼 암 (wafer transfer arm) 의 구성은 웨이퍼 전송 및 회전에 대해 최대 4 개의 다른 위치를 제공 할 수 있습니다. 이 여러 가지 위치 는 "로봇 '조작 장치 가 작업셀 의 모든 순차 작업 을 정확 하게 완료 할 수 있도록" 프로그램' 되어 있다. 웨이퍼 핸들러는 근접 센서, 라이트 타워, 푸시 버튼, 리미트 스위치 등 다양한 센서를 사용하여 웨이퍼 이동을 제어할 수 있는 피드백을 제공합니다. 로봇 암은 수직 및 수평 평면 모두에서 웨이퍼를 조작 할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 의 주기 시간은 조작에 소요되는 시간에 따라 달라지며 작업셀의 여러 컴포넌트 (component) 간에 웨이퍼를 전송합니다. E19013780 웨이퍼 핸들러는 반도체 제조 환경에서 효율적으로 웨이퍼를 전송, 회전, 정렬하도록 설계되었습니다. 이 제품은 최소한의 주기 시간 (cycle time) 과 향상된 생산 수율로 빠른 속도와 정확한 웨이퍼 전송을 제공하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 사람의 오류를 줄이고 전체 프로세스 동안 웨이퍼를 정확하게 정렬합니다. 로봇암 (robot arm) 은 설계와 구성에 따라 최적의 성능을 제공할 수 있습니다.