판매용 중고 UNISONIC XC-G05-04B #9150676

UNISONIC XC-G05-04B 웨이퍼 핸들러는 직경이 최대 150mm (6 인치) 인 웨이퍼를 처리하도록 설계된 완전 자동 웨이퍼 전송 장비입니다. 이 다기능 시스템은 특허를받은 저진동, al. "알루미늄 '구조 는 한 제품 에서 다른 제품 으로" 웨이퍼' 를 더 빠르고 부드럽게 옮길 수 있게 해 준다. 또한 XC-G05-04B는 정밀 로봇 암 기술을 사용하여 ± 0.1mm 로봇 포지셔닝 정확도를 달성합니다. 이 정확도가 높은 웨이퍼 처리 장치는 시간당 최대 30,000 개의 번들 번호로 빠르고 정확하게 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. UNISONIC XC-G05-04B는 또한 전송 전에 웨이퍼 모양, 두께 및 위치를 자동으로 감지 할 수있는 고급 Wafer Edge Sensor 머신을 사용합니다. 이 도구에는 AI 기반, 플랫폼 최적화, 다양한 신호 패턴을 지원하는 서보 에셋 (서보 에셋) 이 장착되어 있어 정확성과 반복성이 향상됩니다. 이 모델에는 이중 센서가 장착되어 있어 웨이퍼 파손을 줄이는 데 도움이 되는 웨이퍼 틸트 (wafer tilt) 를 감지합니다. 또한, 전송 된 웨이퍼의 반복 가능하고 정확한 배치를 보장하기 위해 E- 플럭스 (E- flux) 의 최종 적응 정렬이 통합됩니다. XC-G05-04B 의 안전하고 효율적인 작동을 위해, 여러 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이 기능에는 웨이퍼 (Wafer) 수송 장비의 무단 액세스를 방지하기 위한 통합 안전 도어 잠금 장치 (Safety Door Lock) 와 전기 충격을 방지하기위한 웨이퍼 수송 가드 (Wafer Transport Guard) 가 포함됩니다. 또한 wafer (웨이퍼) 전송을 자동으로 중지하는 operator (운영자) 오류가 발생할 경우 시스템을 활성화하는 응급 단추도 있습니다. 마지막으로, 걸린 웨이퍼가 감지되면 웨이퍼 파손을 방지하기 위해 자동 중지 기능 (Automatic Stop Function) 이 포함됩니다. UNISONIC XC-G05-04B는 직경이 최대 150mm (6 인치) 인 웨이퍼를 빠르고 정확하게 전송해야 하는 모든 프로세스에 적합한 완전 자동화, 고밀도 웨이퍼 처리 장치입니다. 첨단 안전 시스템과 정밀 로봇 암 (robotic arm) 기술은 안전하고 효율적인 운영을 보장합니다. 이 다용도 시스템은 모든 웨이퍼 처리 요구 사항에 적합한 솔루션입니다.