판매용 중고 ULVAC COVOT-6 #293664128

ULVAC COVOT-6은 최대 6개의 웨이퍼를 동시에 정확하고 안정적으로 전송할 수 있도록 설계된 고성능 웨이퍼 처리 장비입니다. COVOT-6 (COVOT-6) 은 고급 로봇 암 (robotic arm) 과 광학 탐지 시스템 (optical detection system) 에 의존하여 장치의 로드 포트와 언로드 포트에 와퍼를 정확하고 반복적으로 배치합니다. ULVAC COVOT-6 (COVOT-6) 은 웨이퍼 처리 기능 외에도 단단한 공간에 설치할 수있는 컴팩트 한 디자인을 자랑합니다. 머신에는 슬림한 바디 프로파일 (body profile), 낮은 무게 (low weight) 및 작은 설치 공간 (small footprint) 이 있어 이미 설정된 작업 환경에서 즉시 구현할 수 있습니다. 또한, COVOT-6은 최소한의 유지 보수가 필요하며, 최적의 성능을 보장하기 위해 진공 필터 및 먼지 포수가 장착되어 있습니다. ULVAC COVOT-6은 웨이퍼 로드 및 언로드, 웨이퍼 식별, 매핑, 자동 중심 등 다양한 기능을 제공합니다. 디지털 카메라를 사용하여 웨이퍼를 인식할 수 있으며, 빠르고 손상이 없는 언로드/로딩을 위해 설계된 진공 픽업 (vacuum pickup) 도구를 사용합니다. 또한, 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼를 회전시키고 3 축 로봇 암을 통해 조작하고 배치 할 수 있습니다. 또한 COVOT-6에는 자산 설정을 자동으로 조정하기위한 PLC (Programmable Logic Controller) 가 있습니다. 이를 통해 모델의 정확하고, 반복 가능하며, 고성능 작동이 가능합니다. ULVAC COVOT-6은 또한 시각적 피드백을위한 터치 패널 (touch panel) 과 식별을위한 바코드 스캐너 (barcode scanner) 와 통합되어 있습니다. 전반적으로, COVOT-6은 고급 웨이퍼 처리 작업을위한 필수 불가결한 도구이며, 정확한 모션 제어 및 정확한 웨이퍼 배치를 제공합니다. 기판 크기는 실리콘에서 GaAs, LCD에 이르기까지 일괄 처리 및 일회성 처리를 모두 수용할 수 있습니다. 경량 구성, 간편한 설치, 자동 장비 설정을 통해 ULVAC COVOT-6은 시장에서 최고의 웨이퍼 처리 시스템 중 하나입니다.