판매용 중고 ULVAC COVOT-6 #293664124

제조사
ULVAC
모델
COVOT-6
ID: 293664124
Robot.
ULVAC COVOT-6 (ULVAC COVOT-6) 은 한 주기로 최대 6 개의 웨이퍼 전송 및 처리 프로세스를 자동화하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. COVOT-6 (COVOT-6) 은 우월한 정확도와 속도로 웨이퍼 기판을 전달하고, 공정 중에 입자 또는 기타 오염 물질의 잠재력을 완화하도록 설계되었습니다. ULVAC COVOT-6은 높은 정밀 제어 및 반복 가능한 정확도를 결합한 독특한 서보 모터 및 선형 스케일 시스템을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 COVOT-6이 직경 200mm (다른 웨이퍼 처리 기계의 거의 2 배) 의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 "시스템 '의 반복 가능 한 정확도 는" 웨이퍼' 사이 에 최소 의 입자 혹은 기판 전달 이 있으며 "웨이퍼 '적재 시간 이 최소화 된다. ULVAC COVOT-6은 또한 웨이퍼 스택 구성과 관련하여 높은 수준의 유연성을 가지고 있습니다. 일반적인 200mm 웨이퍼에서 2-4 스택 단위 (stacked unit) 구조까지의 형상을 수용할 수 있으므로 사용자 정의 스택 구성을 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. COVOT-6은 스태킹의 유연성과 함께 다양한 웨이퍼 재료, 크기, 무게 및 처리 방법을 지원할 수 있습니다. ULVAC COVOT-6 (ULVAC COVOT-6) 은 또한 고급 경보 및 보안 기능으로 인해 전체 전송 과정에서 웨이퍼가 안전하게 보호됩니다. 이러한 기능에는 긴급 정지 (Emergency Stop), 적절한 전송 거리 및 속도 설정, 처리 영역 (Handling Zone) 의 외부 개체를 감지하는 기능이 포함됩니다. 또한 이 기능 들 은 "웨이퍼 '가 최고 수준의 치료 를 받는다는 보증 을 준다. COVOT-6 (COVOT-6) 은 비용 효율성이 웨이퍼 전송, 처리, 처리 등과 관련된 비용을 절감하는 데 도움이 되기 때문에 연구 개발, 장치 제조, 대량 생산에 이상적인 도구입니다. 또한 다양한 크기, 재료, 구성 (configuration) 의 웨이퍼를 처리할 때 높은 정확도와 반복 가능한 속도가 필요한 애플리케이션에 적합한 솔루션입니다. 유연성, 정확성 및 보안 기능으로 인해 Wafer 처리를 위한 안정적인 선택이 가능합니다.
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