판매용 중고 ULVAC COVOT-6 #293664122

ULVAC COVOT-6은 6 인치 웨이퍼의 고정밀 전송 및 처리를 제공하도록 설계된 완전 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 그것 은 "와퍼 '를 한 곳 에서 다른 곳 으로 옮기고, 특정 한 장소 (예:" 오븐' 이나 용광로) 에 위치 하는 데 반도체 산업 에서 사용 된다. 장비는 메인 프레임, 로봇 암, 비전 시스템, 컨트롤 보드 및 컨베이어 유닛으로 구성됩니다. COVOT-6 (COVOT-6) 의 기본 프레임은 너무 많은 공간을 차지하지 않고도 최적의 성능을 제공하도록 견고하고 컴팩트하게 설계되었습니다. 로봇 팔에는 6 인치 웨이퍼를 수용 할 수있는 6 개의 슬롯이 있습니다. 비전 머신은 정확한 포지셔닝을 위해 각 웨이퍼의 고해상도 이미징을 제공합니다. 게다가, "로봇 '암 에는" 컨트롤러' 판 이 장착 되어 있어서 전체 도구 를 쉽고 직관적 으로 작동 할 수 있다. 게다가, 이 장치 는 "컨베이어 '에셋 을 갖추고 있어서 원하는 위치 에" 웨이퍼' 와 정확 한 위치 를 효율적으로 옮길 수 있다. ULVAC COVOT-6은 최대 속도 (600mm/s) 로 웨이퍼를 로드 및 언로드하여 효율적인 워크플로를 제공합니다. 또한, 높은 정확도는 0.2mm의 최대 방사형 위치 오차를 허용합니다. 이를 통해 각 웨이퍼가 오븐/퍼니스에 정확하게 배치됩니다. 또한 COVOT-6에는 로봇 팔을 깨끗하게 유지하기 위해 청소 모델이 장착되어 있습니다. 또한 입자가 장비에 들어가지 못하게함으로써 오염을 더욱 줄이기 위해 먼지 수집 장치 (dust collection mechanism) 로 제작되었습니다. 또한 내구성이 뛰어난 설계로 수명이 늘어납니다. 결론적으로 ULVAC COVOT-6 웨이퍼 핸들러는 6 인치 웨이퍼의 빠르고 정확하며 자동 전송 및 처리를 제공합니다. 이 시스템은 효율이 높고, 정확하며, 내구성이 뛰어나며, 산업용 어플리케이션에 적합합니다.