판매용 중고 ULVAC COVOT-6 #293664120

ULVAC COVOT-6은 실험실, 생산, 연구 및 테스트 환경을 위해 특별히 설계된 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 이 제품은 고급 자동 장치로, 75mm ~ 300mm 크기의 다양한 웨이퍼 (wafer) 와 유형을 안전하게 처리할 수 있습니다. 이 장비는 자동화된 카세트-카세트 (Cassette-to-Cassette) 웨이퍼 처리 및 와퍼-카세트 (Wafer-to-Cassette) 전송 및 시스템 내부의 스토리지 트레이에서 검색 할 수 있습니다. COVOT-6 은 독립형 시스템으로, 외부 컴퓨터 제어가 필요 없이 빠르고 정확한 웨이퍼 처리를 지원합니다. 여기에는 4 개의 서보 구동 축 시퀀스 (servo-driven axes sequence) 를 포함하여 강력하고 고급 기능이 있으며 다양한 동작 패턴이 가능합니다. 이 장치는 정밀도와 정확도를 위해 설계되었으며, 서브 미크론 정확도와 0.2도 해상도입니다. 연약한 웨이퍼의 안전한 처리를 위해 견고한 진공 클램핑 장치를 갖춘 최대 속도 (360mm/s) 를 갖습니다. ULVAC COVOT-6은 다양한 응용 프로그램 및 실험실 환경에 적합한 컴팩트하고, 사용자 친화적 인 설계를 갖추고 있습니다. 또한 모든 웨이퍼 및 카세트 크기에 대해 주변 장치 웨이퍼 로딩/언로드 또는 수직 웨이퍼 로딩/언로드를 지원하는 이중 방향 카세트 메커니즘 (Dual-Way Cassette Mechanism) 이 특징입니다. 충돌 상태 감지 장치 (crash status detection machine) 가 내장되어 있으며 안전 및 보증을위한 물리적 손상 표시가 있습니다. 이 장치에는 쉽게 프로그래밍 및 작동할 수 있도록 사용자 친화적 인 터치 패널 컨트롤러가 있습니다. COVOT-6은 다양한 상점 트레이와 호환됩니다. 연삭, 청소, 정렬, 처리, 결합, 검사 및 조작과 같은 웨이퍼 프로세스에 사용할 수 있습니다. 또한 집적 회로, 박막, SOI 및 마이크로 리토 그래피와 같은 여러 응용 프로그램에도 적합합니다. 또한, 빠른 처리 속도와 낮은 운영 비용으로 워크플로우 최적화 (Workflow Optimization) 를 위해 설계되었으며, 대부분의 웨이퍼 (Wafer) 처리 애플리케이션에 이상적인 옵션입니다. ULVAC COVOT-6은 뛰어난 속도, 정확성 및 성능을 제공하는 매우 다양하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 처리 도구입니다. 운영, 실험실, 연구, 테스트 환경을 위한 안정적이고 강력한 솔루션입니다. 4 개의 고급 서보 구동 축 시퀀스, 내장 충돌 상태 감지 에셋, 탁월한 안전성을 위한 물리적 손상 (Physical Damage Indication) 을 통해 모든 크기와 유형의 웨이퍼를 빠르고, 안전하며, 정확하게 처리할 수 있습니다.