판매용 중고 ULVAC COVOT-6 #293664119

ULVAC COVOT-6은 반도체 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 최대 6 인치 (6 인치) 의 웨이퍼와 최대 4 인치 두께의 웨이퍼 스택을 처리 할 수있는 완전 자동화, 프로그래밍 가능한 웨이퍼 처리 시스템입니다. COVOT-6 (COVOT-6) 은 신뢰할 수있는 로봇 공학과 정밀 컨트롤러의 조합을 사용하여 한 스테이션에서 다른 스테이션으로 이동하는 동안 웨이퍼와 기판을 부드럽고 정확하게 처리합니다. 이 장치는 통합 웨이퍼 로더, 2 개의 웨이퍼 처리 로봇, 에어 베어링 포지셔너 및 6 개의 프로세싱 Aligner로 구성됩니다. 로봇 암에는 웨이퍼 처리에 반복 가능한 정확성과 유연성을 제공하는 2 개의 독립적 인 고속, 6 축 로봇이 있습니다. 이 "로봇 '들 은 최대 의" 토크' 제어 로 "웨이퍼 '를 정확 하게 배치 하고 움직 일 수 있다. ULVAC COVOT-6은 공기 베어링 포지셔너 (air-bearing positioner) 를 통해 포지셔닝의 높은 정확성과 반복성을 제공하며, 이는 3 단계 개별 제어를위한 정밀 선형 모터를 특징으로합니다. 또한 6 개의 온보드 마이크로 프로세서 및 소프트웨어 컨트롤이 포함되어 있으며, 각 Aligners는 반복 가능한 정확도와 처리량을 위해 웨이퍼를 정렬 할 수 있습니다. 웨이퍼 처리 기계는 각 응용 프로그램에 맞게 사용자 정의 할 수있는 HMI (Human Machine Interface) 시스템을 통해 프로그래밍 및 제어됩니다. 전사 중 "웨이퍼 '의 위치 와 상태 를 모니터링 하고 그 에 맞추어" 로봇' 팔 의 움직임 을 조정 하는 통합 "센서 '도 갖추어져 있다. 따라서 운영 품질과 처리량이 극대화됩니다. 마지막으로, COVOT-6 에는 원격 모니터링 툴이 장착되어 있어 운영자가 자산의 성능과 관련된 데이터를 쉽게 액세스할 수 있습니다. 따라서 운영자가 모델 작업 및 프로세스를 최적화하고 웨이퍼 (wafer) 생산 수율을 향상시킬 수 있습니다. ULVAC COVOT-6 (ULVAC COVOT-6) 은 반도체 프로세스에 이상적인 웨이퍼 처리 장비로, 다양한 산업 분야에서 뛰어난 웨이퍼 처리 정확성을 보장합니다. 강력한 로봇 기술은 성능의 속도, 정확성, 반복성을 보장하며, 처리량 및 전반적인 생산성에 대한 기여도를 크게 향상시킵니다.