판매용 중고 ULVAC COVOT-6 #293664118

ULVAC COVOT-6은 200mm 및 300mm 웨이퍼를 포함한 모든 크기의 반도체 웨이퍼를 처리하도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러 장비입니다. 이 제품은 신뢰성이 높으며 단일 플랫폼에서 다양한 프로세스 단계 (process steps) 로 작동하여 웨이퍼를 효율적으로 전송하고 포지셔닝합니다. COVOT-6은 주 유닛, 2 개의 로봇 암 및 로봇 손으로 구성됩니다. 주 장치에는 컨트롤 모듈, 전원 공급 장치, 통신 보드 (Communication Board), 로봇 암 부착용 장착 도구 등 다양한 시스템이 있습니다. 각각 독립적으로 또는 함께 이동할 수있는 2 개의 로봇 암은 최대 200mm 크기의 웨이퍼 (wafer) 를 전송하고 포지셔닝 할 수 있습니다. "로봇 '손 은" 지그' 나 "트레이 '에서" 웨이퍼' 를 잡아 놓는 데 사용 된다. 로봇 암에는 웨이퍼 움직임을 모니터링 및 제어하기위한 5 축 펀치 및 비전 시스템이 장착되어 있습니다. "로봇 '장치 는 여러 가지 명령 으로" 프로그램' 되어 "와퍼 '의 정렬, 전달, 위치 지정 등 여러 가지 작업 을 수행 할 수 있다. 또한 처리 중인 웨이퍼 유형에 따라 속도, 힘, 가속도를 변경할 수 있습니다. 또한, 이 기계에는 환경 제어 장치 (Environmental Control Unit) 를 사용하여 환경 오염으로부터 웨이퍼를 보호하는 기능이 포함되어 있습니다. 이 단위는 처리하기 전에 도구에서 외부 입자를 필터링하고 제거합니다. 전반적으로 ULVAC COVOT-6 (ULVAC COVOT-6) 는 단일 플랫폼에서 효율적인 웨이퍼 전송 및 포지셔닝을 제공하는 고급적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러입니다. 우수한 성능과 기능을 통해 다양한 반도체 (semiconductor) 프로세스에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다. 첨단 부상 예방 메커니즘은 기계적 피해로부터 웨이퍼를, 환경 관리 경비원은 오염으로부터 보호합니다. COVOT-6 (COVOT-6) 은 모든 유형의 웨이퍼 처리에 대해 높은 수준의 제어 작업을 제공합니다.