판매용 중고 ULVAC COVOT-6 #293664116

ULVAC COVOT-6 (ULVAC COVOT-6) 은 다양한 대형 및 소형 웨이퍼를 처리하도록 특별히 설계된 고정밀 웨이퍼 처리 장비입니다. 고급 로봇 시스템 (Advanced Robotic System) 은 최대 관리 및 정밀도로 웨이퍼를 처리하여 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 이동을 허용합니다. COVOT-6은 최대 12 인치 웨이퍼, 진공 하중 포트 및 웨이퍼 수송 슬레드를 처리 할 수있는 멀티 축 로봇으로 구성됩니다. 고급 로봇 암은 정확한 위치, 최대 0.2mm 내성을 허용합니다. 이 정밀도는 모든 축에서 짝수 이동을 허용하고 다이 배치의 정밀도를 향상시킵니다. 진공 하중 포트 부착물에는 웨이퍼 (wafer loading) 및 언로드 중 공기의 흐름을 제어하기위한 안전 도어 및 통풍구가 포함됩니다. 이것은 오염을 줄이고 수확량을 높이는 데 도움이됩니다. 또한 로드 포트 내부에 웨이퍼를 정확하게 배치 할 수 있습니다. ULVAC COVOT-6의 수송 슬레드는 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 슬라이드가 로드 포트에 들어가 쉽게 로드 및 언로드할 수 있습니다. 정확한 처리를 위해 웨이퍼를 정렬하도록 설계된 포지셔닝 장치가 있습니다. COVOT-6에는 모든 작업 단계를 모니터링하는 내부 자체 점검 장치도 있습니다. 따라서 중단이 적은 무중단 작업이 가능합니다. 또한 IT 부서에서 프로세스를 모니터링하고 보고서를 생성하여 운영자가 신속하게 문제를 감지하고 해결할 수 있도록 지원합니다. 결론적으로, ULVAC COVOT-6은 크고 작은 웨이퍼의 정확하고 반복 가능한 움직임을 제공하기 위해 특별히 설계된 웨이퍼 처리 기계입니다. 0.2mm 공차로 최대 12 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 진공로드 포트 (vacuum load port), 웨이퍼 전송 썰매 (wafer transport sled) 및 모든 작동 단계를 모니터링하는 내부 자체 점검 도구가 특징입니다. 이 자산은 정확도를 높이고 웨이퍼 처리 작업의 오염을 줄이는 데 이상적입니다.