판매용 중고 ULVAC COVOT-6 #293664115

ULVAC COVOT-6 (ULVAC COVOT-6) 은 깨지기 쉽고 귀중한 웨이퍼 처리에 높은 수준의 정확성과 정확성을 제공하도록 설계된 완전한 기능의 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비는 직경 4 인치에서 6 인치 사이의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 최적화 된 웨이퍼 보호를위한 저압 전송 시스템을 포함합니다. COVOT-6은 시중에서 사용 가능한 최고 정확도 수준 중 하나 인 ± 5m를 반복합니다. 이 장치는 자동 클램핑 플랫폼 (automated clamping platform) 을 갖추고 있어 웨이퍼를 안전하게 보호하고 저압 전송 머신 (low-pressure transfer machine) 은 섬세한 기판에 대한 최대의 표면 보호를 보장합니다. 단일 웨이퍼 로딩 (Single-wafer loading) 도 사용할 수 있으며, 장치 내의 웨이퍼 위치를 정확하게 측정하는 고유 한 위치 도구 (position-tool) 가 있습니다. ULVAC COVOT-6 의 자동 웨이퍼 세척 기능 (automated wafer washing capability) 은 오염의 위험을 최소화하고 수동 청소의 필요성을 제거하여 전반적인 처리량을 증가시킵니다. 에셋은 또한 내장 (BIST) 검출기 및 안전 모델을 통해 정확한 웨이퍼 로드 상태를 모니터링하고 효율적으로 관리할 수 있습니다. "웨이퍼 핸들러 (wafer handler)" 는 사용이 편리한 직관적인 인터페이스를 통해 원활하고 간단한 작업을 수행할 수 있습니다. 구성 가능한 설정은 로봇이나 공정 챔버 (process chamber) 와 같은 관련 컴포넌트와 최적으로 통합되어 완벽한 자동 균일 전송 (automated uniform transfer) 을 실현합니다. 이 장치는 또한 비표준 웨이퍼 크기와 재료를 감지하고 거부 할 수 있으며, 모듈식 설계 (modular design) 를 통해 기능에 모듈을 쉽게 추가할 수 있습니다. 또한 COVOT-6은 초고속 진공 복구 속도와 함께 용광로에서 챔버 (chamber) 까지 정확하고 일관된 온도 제어를 제공합니다. 이 정밀도 (precision level) 는 웨이퍼가 가열되고 냉각되어 최적의 제품 품질을 제공합니다. 결론적으로, ULVAC COVOT-6은 뛰어난 수준의 정확성과 정확성을 제공하는 다목적 웨이퍼 처리 장비입니다. 저압 전송 (low-pressure transfer), 클램프 플랫폼 (clamp platform) 및 온도 제어 (temperature control) 와 같은 다양한 기능과 함께 자동화된 기능과 직관적인 사용자 인터페이스는 COVOT-6을 효과적이고 안정적인 웨이퍼 처리 솔루션으로 만듭니다.