판매용 중고 ULVAC COVOT-6 #293664113

ULVAC COVOT-6은 신뢰할 수있는 웨이퍼 처리 기능과 매우 낮은 오염 환경을 제공하는 매우 낮은 오염 6 인치 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러는 반도체 생산 응용 프로그램의 정확한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. COVOT-6에는 개선 된 평면도와 함께 증가 된 진공 보유력을 제공하는 확장 길이 척 (extended-length chuck) 이 장착되어 있습니다. 원활한 작동으로 고성능 웨이퍼 핸딩 및 배송이 보장됩니다. 손잡이의 소형 디자인은 공간 절약형 솔루션을 제공하며, 유연한 로딩 스테이션에는 6 "및 8" 웨이퍼 용 어댑터와 정렬 포트 용 포트가 포함되어 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 높은 수준의 오염 제어를 제공하는 여러 기능이 포함되어 있습니다. 특수 3 중 물개 시스템 (triple seal system) 은 입자가 챔버로 들어가는 것을 제한함으로써 공정 챔버 안팎의 오염 수준을 줄이는 데 도움이됩니다. 스테인리스 스틸 부품의 사용은 잠재적 인 오염 원의 추가 감소에 기여합니다. "핸들러 '와 대기 오염 억제 층 의 크기 는" 지그' 와 비품 속 의 "웨이퍼 '를 더 빠르고 쉽게 옮길 수 있다. ULVAC COVOT-6 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 에는 온도 또는 진공 변화 사용자를 경고하기위한 경보 시스템, 입구 및 콘센트의 공기 댐퍼, 배기 측의 압력 잠금 (Pressure Lockout) 등 여러 안전 기능이 제공됩니다. 요약하면, COVOT-6 웨이퍼 핸들러 (COVOT-6 Wafer Handler) 는 반도체 생산 애플리케이션의 정확한 요구 사항을 충족하도록 설계된 매우 낮은 오염, 공간 절약 솔루션입니다. 이 기능은 안정적이고 안전한 웨이퍼 처리, 매우 낮은 오염 환경, 여러 가지 안전 기능을 제공합니다. 콤팩트 한 디자인과 연장 된 척 (chuck) 은 부드러운 작동을 제공하는 반면, 트리플 인감 시스템 (triple seal system) 과 스테인리스 스틸 (stainless-steel) 부품은 오염 위험을 완화하는 데 도움이됩니다.