판매용 중고 ULVAC COVOT-6-X5A #293664111

ID: 293664111
빈티지: 2015
Robot 2015 vintage.
ULVAC Covot 모델 6-X5A는 다양한 웨이퍼 핸들러입니다. 최대 8 인치 웨이퍼로 최대 6 개의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 여러 "웨이퍼 '를 적재 및 언로드하기 위한 2 개의 독립적 인 로드 포트 를 갖추고 있으므로, 작업 조각 과 운반" 플레이트' 를 신속 히 적재, 언로드 할 수 있다. 로우 프로파일 디자인과 간단한 메커니즘은 ULVAC COVOT-6-X5A를 단단한 공간에 적합한 선택으로 만듭니다. 웨이퍼 핸들러는 고속, 반복 가능 및 정확한 처리 기능을 제공합니다. 웨이퍼는 최대 10mm/s의 속도로 원하는 프레스 포인트로 전송 할 수 있습니다. 진공 흡입 장치 (vacuum suction system) 는 수송 중 웨이퍼가 이동하지 않도록 보장하여 반복 정확도가 우수합니다. COVOT-6-X5A에는 PMP-X4 및 자동 중심 발이 장착되어 있어 도구 세트의 웨이퍼를 정확하게 배치합니다. 웨이퍼 (Wafer) 와 전송 (Transfer) 메커니즘을 안전하게 연결하기 위해 특수 잠금 메커니즘도 장착됩니다. 이를 통해 ULVAC COVOT-6-X5A는 단단한 공간에서 사용할 수있는 이상적인 웨이퍼 핸들러가되었습니다. COVOT-6-X5A는 또한 실온 블루 라이트 정렬 시스템을 제공합니다. 이 시스템은 두 개의 CCD 카메라를 사용하여 이미지를 캡처하여 정확성과 안정성을 보장합니다. 정밀도 카메라는 하위 미크론 정밀도 (sub-micron accuracy) 정렬을 제공합니다. 즉, 가장 작은 오열이 빠르게 감지되고 수정됩니다. ULVAC COVOT-6-X5A는 최대 생산 가동 시간과 장기적인 내구성을 위해 설계되었습니다. 속도, 토크 제어 기능이 있는 고급 전기 모터 (advanced electric motor) 를 사용하여 부드럽고 정확한 웨이퍼 처리를 수행합니다. 모터 과부하를 방지하기 위해 COVOT-6-X5A (COVOT-6-X5A) 는 모터가 과부하될 때 사용자에게 경고하는 레벨 경보를 제공합니다. 전반적으로 ULVAC COVOT-6-X5A는 타이트한 작업 공간에서 웨이퍼 처리에 이상적인 선택입니다. 로우 프로파일 (low profile) 과 하이스피드 반복 (highspeed repeatable) 기능을 고급 기능과 결합하여 원하는 모든 웨이퍼 전송 어플리케이션에 적합한 기능을 제공합니다.
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