판매용 중고 ULVAC COVOT-6-X5A #293664110

ULVAC COVOT-6-X5A는 실리콘 및 비 실리콘 기판 모두에 대해 효율적이고 안정적으로 웨이퍼 전송 서비스를 제공하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 기존 공장 자동화 시스템에 뛰어난 독립형 운영 또는 통합을 제공하는 모듈식 및 유연한 아키텍처를 자랑합니다. COVOT-6-X5A는 최대 200mm 크기의 단일 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 작동 온도 범위는 15 ° C ~ 40 ° C입니다. 웨이퍼 핸들러는 상대 습도 제어 (20 ~ 70% RH) 를 사용하는 High A/C ROOM (ISO Class 4) 과 ULVAC-ICP3 필터레이션 장비를 갖춘 입자 번호를 갖춘 내장 클린 룸 환경 제어를 특징으로합니다. 시퀀스 프로그램은 EMME/3 소프트웨어를 통한 간단한 프로그램 개정판으로 PC 기반입니다. 이를 통해 쉽고 직관적인 제품 구성, 프로그램 작성, 유지 보수 및 데이터 로깅이 가능합니다. ULVAC COVOT-6-X5A 핸들러에는 기판 냉각을 위해 4 개의 독립적 인 냉각 영역이있는 냉각기 냉각 시스템이 내장되어 있습니다. 여기에는 자동 카세트 교환 및 FOUP (또는 다른 GAP) 로의 카세트 언로드가 포함되며, 더 단단한 기판을위한 듀얼 암 핸들러 (옵션) 가 있습니다. 웨이퍼 전송 장치 구성에는 최대 20 개의 웨이퍼에 대한 듀얼 암 (dual-arm) 잡기가 포함되며, 웨이퍼 전송 및 조작을위한 다중 로터리 슬라이드 모션 머신이있는 2 개의 전송 축 및 다중 암 제어 로봇 (multiple-arm control robot) 을 프로그래밍 할 수 있습니다. 클램핑 도구는 견고하고 안전한 기판 처리를 위해 높은 강성 공압 이젝터 및 에어 블로우 타입 백 가압 (back pressurization) 을 갖추고 있습니다. COVOT-6-X5A의 배선 모니터에는 여러 개의 내장 안전 장치가 포함되어 있어 배선 연결 해제로 인한 오류를 방지합니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 PFA 커버 벨트가 장착되어 있으며, 정확한 웨이퍼 포지셔닝을 위한 전용 인코더가 장착된 마이크로 스텝 모터가 포함되어 있으며, 기존 고객 공장 자동화 에셋과 통합되거나 독립형 모델로 운영될 수 있습니다. ULVAC COVOT-6-X5A 웨이퍼 핸들러는 운영 확인 (operation check verification) 외에도 장비 경보 분석 및 유지 관리 로그 기록을 위한 진단 기능을 사용합니다. 또한 X-ray CT 시스템을 통해 유지 관리 작업을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 이 웨이퍼 핸들러는 CE 규격을 준수하며, 키보드가 장착된 천장 장착 콘솔과 대형 모니터 한 쌍을 포함합니다.