판매용 중고 ULVAC COVOT-6-X5A #293642937

ULVAC COVOT-6-X5A는 반도체 웨이퍼의 테스트 및 로딩을 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 진공 기반 플랫폼과 한 쌍의 로봇 암 (robotic arm) 을 사용하여 웨이퍼를 한 스테이션에서 다른 스테이션으로 옮기는 소형 장비입니다. 이 시스템에는 온도 컨트롤러 (temperate controller) 가 통합되어 매우 낮은 재료 공차로 테스트 작업에 온도 안정성을 보장합니다. COVOT-6-X5A 웨이퍼 핸들러는 각 스테이션에 최대 2 개의 도구로 6 인치 웨이퍼 용량을 갖습니다. 웨이퍼의 정확한 전송 및 처리를 위해 장치는 척-척 (chuck-to-chuck) 진공 작동을 지원하는 진공 기반 처리 기계를 사용합니다. 또한 올바른 높이 방향을 위해 가상 평면을 사용하는 효율적인 진공 인터페이스 (vacuum interface) 가 있습니다. 로봇 암 이동은 HMI (human-machine interface) 를 통합 한 PC 기반 컨트롤러에 의해 제어됩니다. 또한 각 웨이퍼 (wafer) 에 대한 테스트 및 운영 레시피를 최적화 할 수있는 레시피 프로그램 편집 소프트웨어를 제공합니다. 통합 소프트웨어 툴은 예측 유지 관리 기능을 제공하며, 데이터 제어 및 추적 능력을 위한 자산 상태를 모니터링합니다. 모델의 온도 컨트롤러는 펠티어 (Peltier) 셀을 사용하여 최대 100 ° C의 온도를 안정적으로 유지합니다. 각 개별 도구에 대해 통합 온도 설정 점 제어 작업을 지원합니다. 통합 온도 컨트롤러에는 프로세스의 정확성을 유지하기 위한 적응형 PID (Adaptive PID) 컨트롤도 있습니다. ULVAC COVOT-6-X5A 웨이퍼 핸들러는 개방형 아키텍처와 대형 액세스 창을 갖춘 인체 공학적 설계를 갖추고 있습니다. 직관적인 스위치와 시각적 표시기 (Visual Indicator) 가 장비에 포함되어 있으며 온보드 문제 해결 메뉴에 액세스할 수 있습니다. 또한 오버 드라이브 및 대피 단계를 모니터링하기위한 디지털 I/O 모듈이 있습니다. COVOT-6-X5A 웨이퍼 핸들러는 반도체, 미세 전기 기계 시스템 (MEMS) 및 광전자 생산 프로세스와 같은 업계에서 다중 로딩, 테스트 및 측정 작업을 수행하는 데 이상적인 선택입니다. 컴퓨터 제어 로봇 암 (computer-controlled robotic arm), 신뢰할 수있는 온도 제어 (temperature control) 및 다양한 안전 기능의 조합으로 매우 다양하고 신뢰할 수있는 시스템으로, 현대 생산 공정의 요구를 충족 할 수 있습니다.