판매용 중고 TAKATORI TRO-25C #9358488

ID: 9358488
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1998
Wafer transfer unit, 6" 1998 vintage.
TAKATORI TRO-25C는 반도체 및 전자 제조 분야의 대량 생산을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 고속 및 정확한 작동을 제공하여 장치를 효율적으로 제작할 수 있습니다. TRO-25C는 두 개의 팔로 구성됩니다. "웨이퍼 '와 흡입력 과" 홀더' 기능 을 갖춘 안쪽 팔 을 처리 하기 위한 바깥 팔 이다. 외부 암에는 고속 선형 (high-speed linear) 운동이 있으며 내부 암에 웨이퍼를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 안쪽 암에는 잔류력이 낮은 웨이퍼 (wafer) 를 홀더 (holder) 와 커버 (cover) 와 함께 고정시켜 균일 한 가장자리 압력을 보장하고 웨이퍼 파손을 방지하는 진공 장비가 있습니다. "웨이퍼 '표면 은 안쪽 팔 의 높은 진공 상태 까지 가득 찬 공기" 쿠션' 으로 보호 된다. 컴퓨터 숫자 제어 (CNC) 시스템을 사용하여 TAKATORI TRO-25C는 매우 높은 정확도를 달성 할 수 있습니다. 이는 액추에이터의 높은 모터 회전 속도와 정밀도, 그리고 고정밀도 포지셔닝 모드 (high-precision positioning mode), 중심 모드 (centering mode), 고속 모드 (fast-speed mode), 일반 속도 모드 (conventional speed mode) 등 각 암의 구동 모드 간에 전환하는 기능 때문입니다. TRO-25C는 단일 웨이퍼 및 다중 웨이퍼 프로세스용으로 설계되었으며, 최대 8 "의 웨이퍼 크기를 처리할 수 있습니다. 이것은 팔이 달성 할 수있는 미세 각도 (fine angular) 및 번역 모션으로 달성됩니다. 바깥 쪽 팔 에는 "웨이퍼 '주위 의 기압 을 유지 하면서" 웨이퍼' 를 부드럽게 포착 하고 움직 이는 특수 장치 가 갖추어져 있다. TAKATORI TRO-25C는 100mm-200mm 웨이퍼 직경의 대부분의 웨이퍼 크기와 호환됩니다. 유연성과 높은 생산성을 제공합니다. 또한, TRO-25C에는 자동 교정 (auto-calibration) 과 오염 관리 장치 (contamination management unit) 가 장착되어 있으며 웨이퍼 처리 프로세스의 이상을 모니터링하고 감지하는 시각적 검사기가 있습니다. 전체적으로 TAKATORI TRO-25C는 뛰어난 정확도, 고속 작동 및 효율적인 웨이퍼 처리를 제공하는 고품질 구성 요소로 구성된 전문가 등급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 "웨이퍼 '처리기 는 정교 한 특징 을 지닌 전자 공학 및" 반도체' 제조 분야 의 대량 생산 작업 에 적합 하다.
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