판매용 중고 TAKATORI TRO-25C #9358487

TAKATORI TRO-25C 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 반도체 처리에 사용되는 연약한 웨이퍼의 안전한 처리를 위해 특별히 설계된 로봇 재료 처리 장비입니다. 이 장치에는 와퍼를 들어올려 원하는 위치로 안전하게 수송 할 수있는 정밀한 Z축 동작 제어 시스템 (Z축 동작 제어 시스템) 이 장착되어 있으며, 또 다른 대형 동작 범위 (operating range) 는 반도체 가공실 및 공장에 사용하기에 적합합니다. TRO-25C (TRO-25C) 는 내구성 있고 가벼운 알루미늄 프레임으로 제작되었으며, 웨이퍼 표면과의 접촉을 최소화하는 로우 프로파일 (low profile) 설계를 갖추고 있습니다. 이 장치는 DC 모터에 의해 구동되고 고급 동작 제어 장치 (Advanced Motion Control Unit) 에 의해 제어되며, 정밀하고 안정적인 움직임을 제공합니다. "피더 '와" 리시버' 는 25 "밀리미터 '의" 웨이퍼' 를 손쉽게 처리 할 수 있도록 설계 되어 있으며 여러 가지 높이 와 각도 로 조정 할 수 있다. TAKATORI TRO-25C (TAKATORI TRO-25C) 는 유연성이 뛰어나 챔버에 쉽게 접근 할 수 있으며 진공기와 함께 사용할 수도 있습니다. 이 장치에는 다른 크기의 웨이퍼와 두께를 안전하게 처리하기 위해 2 개의 웨이퍼 그리퍼 (진공 그리퍼 및 기계식 픽업 그리퍼) 가 장착되어 있습니다. "웨이퍼 '" 그리퍼' 에는 오염 물질 로부터 "스테인리스 '강 막 이 장착 되어 있으며, 청정실 호환 설계 는" 웨이퍼' 의 오염 을 방지 한다. TRO-25C에는 2 개의 비전 시스템 (Cognex vision tool과 MVS vision asset) 이 포함되어 있어 처리 플랫폼에 웨이퍼를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 통합 안전 기능에는 외부 E-stop 및 듀얼 암 인터록 가드 (dual-arm interlock guard) 가 포함되며, 로드 및 언로드 과정에서 웨이퍼가 손상되지 않도록 보호합니다. 또한 자동 오류 감지 모델 (automated error sensing model) 을 사용하여 작업 중에 발생하는 오류를 감지합니다. TAKATORI TRO-25C는 모든 유형의 반도체 장치 제작 프로세스 (예: 어셈블리, 테스트 및 장치 구성) 에 이상적인 선택입니다. 견고한 설계 (design) 와 안정적인 작동을 통해 웨이퍼 (wafer) 의 안전한 처리를 보장하고 높은 유연성을 제공하므로 다양한 유형의 프로세싱 챔버 (processing chamber) 에 적합합니다.