판매용 중고 SWECO ITAL-500 #9392922

SWECO ITAL-500 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 반도체 처리 환경 내에서 웨이퍼의 인라인 흐름을 정확하게 제어하도록 설계된 로봇 장치입니다. epiwafer fabrication, wafer prober 및 기타 관련 시스템을 포함하여 여러 웨이퍼 처리 시퀀스가 필요한 응용 프로그램에 사용하도록 설계되었습니다. ITAL-500은 전기 기계 웨이퍼 로더, 웨이퍼 운송 메커니즘, 스핀들 드라이브 및 슬릿 암 (slit-arm) 옵션으로 구성됩니다. 전기 기계 웨이퍼 로더는 최대 100 웨이퍼의 로딩을 위해 설계되었습니다. 정밀한 공차 측정을 위해 로더에 버니어 (Vernier) 스케일이 내장되어 있으며, 로봇 노즐에 가까운 위치에 있는 플레이트를 사용하면 접촉 손상 없이 로더에서 웨이퍼를 픽업할 수 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼를 반복 가능하고 정확하게 로드할 수 있습니다. 웨이퍼 전송 메커니즘은 내부 트랙을 따라 정확하고 반복 가능한 동작을 제공하여 웨이퍼 (wafer) 에 대한 여러 픽업 및 전달 작업을 허용합니다. 이 메커니즘은 x 축 및 y 축의 +/- 1mm 동작과 z축의 +/- 0.5mm 동작을 지원하도록 설계되었습니다. 통합 스핀들 (spindle) 드라이브는 조절 가능한 속도 및 방향 제어를 제공하여 전송 중 웨이퍼를 정확하게 처리 할 수 있습니다. 속도 제어는 분당 0 ~ 6,000 회전까지 조정할 수 있으며, 방향은 시계 방향 및 시계 반대 방향 모드에서 독립적으로 설정할 수 있습니다. 옵션 슬릿 암 (slit-arm) 장치는 시스템 내에서 웨이퍼를 정확하게 정렬하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 치핑 (wafer chipping) 을 방지하기 위해 웨이퍼 가이드 에디 (wafer guide eddy) 가 제공되며, 웨이퍼 정렬을 유지하기 위해 미세한 2 축 이동을 조정할 수 있습니다. SWECO ITAL-500에는 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 여기에 포함된 양손 안전 전환 (two-hand safety switching) 은 잘못된 움직임에 대한 두려움없이 처리 절차를 시작할 수 있습니다. 각 픽업 (pick-up) 및 전달 오프로드 포인트 (delivery off-load point) 간의 동작 제한은 외부 간섭으로부터 메커니즘을 보호하기 위해 홈 스위치로 모니터링됩니다. 또한, 로드 및 언로드 중 웨이퍼 로더의 장애물을 감지하기 위해 300 미크론 근접 센서가 제공됩니다. ITAL-500 의 운영 효율성을 극대화하기 위해 Touch Screen 컨트롤러와 Teaching Pendant 가 제공됩니다. 컨트롤러는 웨이퍼 (wafer) 처리에 필요한 다양한 매개변수의 데이터 입력을 위해 설계된 반면, 교육 (teaching) 펜던트는 여러 웨이퍼 (wafer) 처리 시퀀스의 프로그래밍을 허용합니다. 또한, 로봇은 이더넷을 통해 기존 장비에 쉽게 통합될 수 있으며, 반도체 제작 프로젝트에 이상적인 솔루션이 됩니다. 전반적으로 SWECO ITAL-500 웨이퍼 핸들러는 다중 웨이퍼 처리 시퀀스가 필요한 반도체 처리 응용 프로그램에 이상적인 솔루션입니다. 그것의 다양한 기능과 안전 측정 (Safety Measure) 은 웨이퍼를 정확하고 반복적으로 처리 할 수있는 반면, 직관적 인 컨트롤러와 교육 펜던트는 프로그래밍과 운영을 쉽게 할 수 있습니다.