판매용 중고 STAUBLI TX90 #9400211
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Stäubli STAUBLI TX90은 리소그래피와 같은 고정밀 프로세스에 사용하도록 설계된 완전 자동화 된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 기계는 프로세스 모듈 (Process Module), 스토리지 빈 (Storage Bin) 및 공장의 다른 부분 간에 웨이퍼를 빠르게 이동할 수 있습니다. 높은 수준의 정밀도 (Precision) 와 유연성 (Flexibility) 을 통해 모든 공장의 생산 효율성을 향상시킬 수 있습니다. TX90은 재순환 컨베이어가 장착 된 혁신적인 웨이퍼 전송 장비를 사용합니다. 이것 은 "웨이퍼 '가 장거리 에서 급속 히 움직 이는 데 도움 이 되며, 각 전송 의 정확성 을 보장 하는 데 도움 이 된다. 컨베이어를 다시 순환함으로써 STAUBLI TX90은 또한 전송 프로세스 중 다운타임을 제한 할 수 있습니다. 또한 TX90의 견고한 설계는 웨이퍼를 마모하고 찢는 데 도움이 됩니다. 탄소 섬유 구조는 거친 환경을 견딜 수있는 가벼운 설계를 보장합니다. 이 기계는 또한 탐지기, 포지셔너, 주파수 드라이브 (Frequency Drive) 등의 다양한 특별한 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 오염을 제한하기 위해 STAUBLI TX90에는 이중 챔버 에어 록 시스템이 장착되어 있습니다. 이 여객기 (airlock unit) 는 웨이퍼가 이동하는 동안 먼지와 오염 물질이 올바르게 포함되어 있는지 확인합니다. 이 기계 는 또한 "에너지 '사용 을 줄이는 데 도움 이 되는데, 한 번 에 한 방 만 사용 해야 하기 때문 이다. 이 시스템의 성능은 사용자 친화적 인 제어 도구로 더욱 향상되었습니다. 이 에셋은 연산자가 기계의 설정을 빠르고 쉽게 조정할 수 있도록 합니다 (영문). TX90 의 정확성과 신뢰성은 자동재보정 (automatic recalibration) 모델에 의해 더욱 향상되었는데, 이를 통해 컴퓨터가 항상 가장 높은 표준에 맞게 작동하는지 확인할 수 있습니다. 요약하면, Stäubli STAUBLI TX90은 공장의 여러 부분 사이에 웨이퍼를 빠르고 정확하게 이동하도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. '신뢰성 있는 운영' 및 '사용자 친화적' 제어 기능을 통해 생산성 향상을 원하는 모든 공장에서 적합한 솔루션이 될 수 있습니다. 에어록 (airlock) 장비와 탄소 섬유 (carbon-fiber) 구조는 오염, 마모 및 눈물을 제한하는 데 도움이되며 자동 교정 시스템은 최고 수준의 정확성과 정밀도를 보장합니다.
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