판매용 중고 STAUBLI TX90 #293587131

STAUBLI TX90은 사용자가 안정적이고 효율적인 웨이퍼 로딩 및 전송 솔루션을 제공하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비는 여러 웨이퍼 카세트를 제공 할 수 있으며, 직경이 4 ~ 400mm 인 최대 8 개의 웨이퍼를 적재 할 수 있습니다. 시스템의 모듈식 설계를 통해 사용자는 장치를 업그레이드하여 200mm, 300mm 및 450mm 웨이퍼 개인을 처리 할 수 있습니다. TX90은 축 모듈, 웨이퍼 트랜스퍼 암 (wafer transfer arm) 및 웨이퍼 카세트 (wafer cassette) 의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 축 (axis) 모듈은 여러 서보 모터를 장착하고 전체 머신의 기초가 되는 자체 포함 장치 (self-contained unit) 입니다. 이 모듈은 다양한 모션 (motion) 을 제공하여 웨이퍼의 정확한 로드 및 처리를 위해 최대 5 축의 이동을 허용합니다. 모터는 웨이퍼 트랜스퍼 암 (wafer transfer arm) 을 작동하도록 구성되며, 한 지점에서 다른 점으로 웨이퍼를 연결합니다. 웨이퍼 트랜스퍼 암 (wafer transfer arm) 은 축 모듈에 연결되어 있으며 웨이퍼 핸들러의 주 컴포넌트입니다. 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 제작되었으며, 필요한 안전 표준을 충족시키기 위해 견고한 껍질로 캡슐화되었습니다. 팔에는 다양한 크기의 웨이퍼를 안전하게 운반하기 위해 여러 개의 그립 포인트가 장착되어 있습니다. 또한 "센서 '에는 정밀 처리 에 도움 이 되는" 센서' 와 그 길이 를 따라 여러 가지 접점 이 있어 항상 "와퍼 카세트 '및 기타 부품 들 과의 접촉 을 보장 해 준다. 마지막으로, 웨이퍼 카세트는 도구의 필수 구성 요소입니다. 대형 웨이퍼 (wafer) 를 쉽게 적재 및 운송 할 수 있도록 설계되었습니다. 이 "알루미늄 '은 음소화 된" 알루미늄' 으로 만들어졌으며 서로 다른 "웨이퍼 '직경 을 수용 할 수 있는 크기 가 다양 하다. 카세트에는 스프링로드 (spring-loaded) 지원이 장착되어 있으며 웨이퍼를 정확하게 처리 할 수있는 특수 밸브가 포함되어 있습니다. 또한 웨이퍼 인식 (wafer recognition) 을 돕는 여러 센서와 웨이퍼 트랜스퍼 암 (wafer transfer arm) 과의 접촉을 보장하는 접점 (contact point) 도 있습니다. 결론적으로 STAUBLI TX90은 반도체 산업에 적합한 고효율적이고 정확한 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 이 자산은 모듈식 (Modular) 설계를 기반으로 하여 다양한 웨이퍼 (Wafer) 크기를 처리할 수 있으며, 요구 사항에 맞게 쉽게 확장 할 수 있습니다. 이 제품은 안전하고, 일관성 있고, 안정적인 운영, 빠른 웨이퍼 로딩 (wafer loading) 및 언로딩 (unloading) 을 보장하기 위해 견고한 재료로 제작되었습니다.