판매용 중고 STAUBLI TX90 XLSCRfsi2 #9294303

STAUBLI TX90 XLSCRfsi2는 반도체 제작에서 더 높은 처리량 및 정밀도에 대한 요구를 충족하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 6축, 중형 로봇 플랫폼으로 뛰어난 성능, 호환성 및 반복 기능을 제공합니다. STAUBLI TX90은 안정성과 동작 제어를 제공하는 견고하고 견고한 기본 프레임을 기반으로합니다. 고급 위치 컨트롤러 (Advanced Position Controller) 는 6 개 축 각각을 동시에 안내하고 제어하여 시스템이 조작 암을 부드럽고 정확하게 움직일 수 있도록 합니다. 제어 시스템은 작동 중 각 축의 위치를 계산, 모니터링할 수 있습니다. 로봇은 환경 보호를 제공하기 위해 스테인리스 스틸 인클로저로 둘러싸여 있습니다. STAUBLI TX90은 최대 12 인치 직경의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 다양한 웨이퍼 크기를 수용하도록 구성 할 수있는 모터 구동 플랫폼 헤드 (motor-driven platform head) 가 특징입니다. "로봇 '암 에는" 웨이퍼' 를 붙잡고 조작 하기 위해 손목 에 장착 되는 "엔드 이펙터 '가 있다. "로봇 '은 정밀 선형 동작" 가이드' 와 고도 "토크 '구동 을 갖추고 있어" 로봇' 이 높은 정도 의 정확도 로 움직 일 수 있다. STAUBLI TX90은 까다로운 운영 어플리케이션을 위한 높은 수준의 성능과 안정성을 제공합니다. 로봇의 사이클 시간은 0.3 초이며 반복 성은 ± 0.004 "입니다. 로봇은 기존 생산 라인에 쉽고 효과적으로 통합 될 수 있습니다. 최대 페이로드 용량은 44 파운드이며, 온도 범위는 0 ~ 40 ° C입니다. STAUBLI TX90은 반도체 산업의 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 웨이퍼 전송 (wafer transfer) 과 같은 어플리케이션에 적합하여 결함이 없는 웨이퍼 처리를 보장합니다. "로봇 '암 의 고급 기능 은 고출력, 고정밀 반도체 처리 에 이상적 인 선택 이 된다.