판매용 중고 STAUBLI TX60 #9258521

STAUBLI TX60 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 섬세한 웨이퍼 및 기타 기판의 자동 처리를위한 로봇 장비입니다. 이 최첨단 장치는 웨이퍼 처리 및 처리를 위한 뛰어난 자동화, 유연성, 안전성을 제공합니다. 열 처리, 코팅, pick and place, mask aligner 및 imprint lithography와 같은 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 이상적입니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 다중 축 암으로 구성되며, 시스템은 뛰어난 정확도로 기판을 조정하고 조작할 수 있습니다. 이 암은 높은 토크와 인상적인 속도를 제공하는 고급 서보 모터로 구동됩니다. 또한, 이 장치에는 최대 5 개의 축으로 정확하게 움직일 수있는 강력한 선형 액추에이터 (linear actuator) 가 포함되어 있습니다. 이 "웨이퍼 핸들러 '의 정확성 은" 인코더' 와 제한 "스위치 '를 사용 하여 달성 되는데, 이것 은 팔 과 기판 의 위치 를 탐지 한다. 더욱 정확 한 정확성 을 얻기 위해, 기계 는 전적 인 힘 과 토크 기능 을 지니고 있다. 이것 은 연약 한 "웨이퍼 '와 기판 을 보다 부드럽고 안전 하게 옮길 수 있게 해 준다. 또한 고가 프로세스를 처리할 때 도구의 안정성을 향상시킵니다. TX60 웨이퍼 핸들러는 탁월한 안전성을 제공합니다. 여기에는 "웨이퍼 그리퍼 (wafer griper) '와" 웨이퍼 (wafer)' 사이의 십자 (cross) 를 막는 모션 프로토콜이 포함되어 있어 웨이퍼의 무결성이 결코 손상되지 않습니다. "웨이퍼 '의 안전 을 더욱 보장 하기 위하여" 에셋' 은 "그리핑 '오류 를 방지 하는 특수" 센서' 로 구성 할 수 있다. 탁월한 안전 기능 외에도, 이 모델은 뛰어난 다용성 및 성능을 제공합니다. 대부분의 웨이퍼 그리퍼 (wafer griper) 와 호환되며, 다양한 웨이퍼 크기를 지원하며, 프로그래밍 가능한 속도와 힘 제어를 제공합니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '감도 에 따라 속도 와 힘 을 조정 할 수 있다. 또한, 이 장비는 뛰어난 유연성을 제공하며, 다양한 유형의 기판 처리 요구를 처리 할 수 있습니다. STAUBLI TX60 Wafer Handler는 유연하고 뛰어난 성능을 제공하는 강력하고 안정적인 장치입니다. 모든 유형의 웨이퍼 처리 어플리케이션에 이상적인 정확도, 안전, 유연성 조합을 제공합니다.