판매용 중고 STAUBLI TX60 #9191514

STAUBLI TX60은 반도체 생산을 위해 설계된 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 시스템은 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 웨이퍼 조작기 (wafer manipulator) 는 최대 60 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 매우 정밀하고 동작 제어 된 파이프 라인을 갖추고 있으며, 한 스테이션에서 다른 스테이션으로 웨이퍼를 빠르고 정확하게 전송 할 수 있습니다. TX60의 본체는 2 개의 독립 축으로 관절 할 수있는 2 개의 서보 구동 암으로 구성됩니다. 이것은 안정성과 정확성을 유지하면서 정확한 움직임을 허용합니다. 팔 (arms) 은 팔 (arms) 사이의 단일 선형 축으로 보완되어 전체 동작 범위가 30도 이상입니다. 주축에는 웨이퍼의 안전한 처리를 위해 진공 기반 클램핑 머신이 장착되어 있습니다. STAUBLI TX60은 매우 정확한 조정 기능을 갖춘 특수 모션 제어 자산 인 STAUBLI 독점 CNC-IC 도구에 의해 제어됩니다. 이렇게 하면 오류 여백이 매우 적은 다양한 동작 궤적 (motion trajectory) 을 사용할 수 있으므로 정밀하고 일관된 프로세스가 가능합니다. 이 모델에는 오열과 변형을 감지할 수있는 2 개의 통합 센서 (예: 빠르고 정확한 수정) 가 있습니다. 또한, TX60은 4개의 터치에 민감한 단추, 선명한 디스플레이, 그래픽 사용자 인터페이스를 갖춘 직관적인 컨트롤 패널을 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 장비 작업을 보다 쉽게 모니터링하고 프로세스를 설정할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 더 나은 웨이퍼 처리를 위한 6축 조작기 (6축) 와 다양한 기능에 대한 추가 모듈 (예: 웨이퍼 정렬) 과 같은 다른 컴포넌트도 통합합니다. STAUBLI TX60은 최고의 정밀도 및 성능을 위해 설계된 고급 웨이퍼 처리 장치입니다. 모션 컨트롤 기능, 센서, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 의 조합은 반도체 생산에 이상적인 선택입니다. 이 기계는 견고하고 신뢰할 수 있는 구성 요소로, 가장 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있습니다.