판매용 중고 STAUBLI TX60 L #293768326

STAULI TX60 L은 반도체 제조에 사용되는 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 이 고급 웨이퍼 처리 자동화 장비 (Advanced Wafer Handling Automation Equipment) 는 고정밀 웨이퍼 전송 제어를 제공하며 반도체 fab의 생산 프로세스를 최적화하는 데 도움이됩니다. 이 시스템은 신뢰할 수 있는 서보 구동 STAUBLI MPS-6 다중 축 포지셔닝 장치로 구동됩니다. STAUBLI TX60L은 8 인치, 12 인치 및 그 이상을 포함하여 다양한 웨이퍼 크기에 대해 최대 10 개의 단일 조리개 로드 포트를 지원할 수 있습니다. 효율적이고 동시 진공 웨이퍼 로딩 및 언로드를 위해 최대 4 개의 로봇 암을 지원합니다. 또한 TX60 L 은 스캔 및 로드 (scan-and-load) 기능을 제공하여 wafer 를 전송하기 전에 wafer 가 자동으로 있음을 감지할 수 있습니다. 다양한 로봇 경로를 지원하고, 웨이퍼 전송, 정렬, 조작 프로세스를 사용자 정의하도록 구성할 수 있습니다. 인체 공학적 GUI (Graphical User Interface) 와 함께 제공되어 원격 시스템 모니터링이 용이합니다. 또한 높은 정확성과 반복성을 제공하는 정렬 도구도 포함되어 있습니다. 또한, 확장 가능한 아키텍처를 통해 운영자는 전송 암 (Transfer Arm), 로드 포트 (Loadport) 및 워크스테이션 (Workstation) 과 같은 구성 요소를 쉽게 추가할 수 있습니다. TX60L은 또한 향상된 운영 안전을 위해 고급 안전 기능을 제공합니다. STAUBLI Safety Asset (SSS1002) 이 장착되어 있으며 로봇 사용을위한 국제적으로 허용되는 안전 표준 인 EN ISO 13849-1을 준수합니다. 또한 STAUBLI TX60 L은 민감한 웨이퍼를 처리 할 때 환경 오염을 최소화하고 제품 피해를 최소화하도록 설계되었습니다. 고급 웨이퍼 처리 진공 모델은 공기 누출을 방지하면서 정확한 프로세스를 보장합니다. 전반적으로, 다목적 STAUBLI TX60L은 반도체 산업의 웨이퍼 처리 자동화에 대한 수요 증가를 해결합니다. 이 제품은 정확한 웨이퍼 (wafer) 이동, 생산성 향상 및 안전성 향상을 제공하여 반도체 운영에 이상적인 선택입니다.