판매용 중고 STAUBLI STS 100-82 #178863

Stäubli STAUBLI STS 100-82 웨이퍼 핸들러는 반도체 생산 라인에서 웨이퍼 기판의 정밀 로딩 및 언로드를 용이하게하도록 설계된 특수 로봇 장치입니다. STS 100-82 는 반도체 생산 환경에서 수동으로 웨이퍼를 로드하고 언로드할 수 있도록 설계되었습니다. 두 개의 독립적 인 팔이 있으며 각각 두 개의 동작 축을 지원합니다. 베이스는 로우 프로파일 스탠드 (low-profile stand) 에 장착되어 낮은 클리어런스 설치에 적합합니다. 로봇은 고정밀 센서와 컨트롤러 (컨트롤러) 를 사용하여 작동하므로 매우 높은 정확도로 웨이퍼 처리 (wafer handling) 프로세스를 수행할 수 있습니다. "와퍼 '에 가해지는 압력 과 무기 의 속도 와 움직임 을 조정 하기 위하여" 로봇' 을 "프로그램 '할 수 있다. 장비는 최대 8 개의 웨이퍼를 동시에 잡아서 출시 할 수 있습니다. 이 시스템에는 내장형 고해상도 (High-resolution) 카메라가 장착되어 있어 생산이 시작되기 전에 웨이퍼 (Wafer) 기판을 적절히 정렬할 수 있습니다. 이것은 기판 프로세스의 잠재적 오류를 최소화하는 데 도움이 될 수 있습니다. STAUBLI STS 100-82 웨이퍼 핸들러의 배치 정확도는 우수하며, x축과 y축에서 ± 3.2äm, z축에서 ± 0.02mm입니다. 이렇게 하면 wafer 프로세스에 기판이 잘못 정렬되지 않습니다. 즉, 운영 시작을 자동화하기 위해 로봇의 사전 프로그래밍을 저장하고 다시 로드할 수도 있습니다. 따라서 설치 시간이 최소화되므로, 다른 운영 요구 사항 간에 신속하고 신속하게 전환할 수 있습니다. 로봇은 프로그래밍 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 명령 할 수 있습니다. 사용자는 이 인터페이스를 사용하여 로봇과 상호 작용할 수 있습니다. 여기에는 속도 (speed) 및 가속도 조정 (acceleration adjustment) 및 위치 제어 (position control) 명령이 포함됩니다. 이 장치에는 안전 컨트롤러 (Safety Controller) 가 장착되어 있어 제어되지 않은 이동을 방지하며, 일반적인 장애가 발생하면 자동으로 안전 종료를 수행합니다. 이것은 운영자의 안전과 로봇 기계의 안정성을 보장합니다. 전반적으로 Stäubli STS 100-82 웨이퍼 핸들러는 반도체 산업의 정밀 웨이퍼 처리 프로세스에 적합한 선택입니다. 이 도구는 높은 반복 가능성, 그래픽 사용자 인터페이스, 포괄적인 안전 구성 요소를 제공합니다. 자동화된 사전 프로그래밍 (pre-programming) 기능은 설정 시간을 줄이고 능률적인 워크플로우를 제공하여 결국 다운타임을 최소화하고 생산성을 높입니다.