판매용 중고 STAUBLI RX90B CR #9209736

STAUBLI RX90B CR은 200mm 및 300mm 웨이퍼를위한 수평 통합 풀 루프 웨이퍼 핸들러입니다. 클린 룸 (Clean Room) 이나 실험실 환경 (Laboratory Environment) 을 통한 웨이퍼 이동을 자동화하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. RX90B CR은 고정밀, 대용량 웨이퍼 처리 어플리케이션을 위한 다중 프로세스 기능을 갖춘 클로즈드 루프 제어 기능을 제공합니다. 이 시스템에는 프로그램 가능한 로봇 암, 비전 기반 카메라 유닛 및 웨이퍼 자동 모니터링 및 추적을위한 철저한 PLC/HMI (Programmable Logic Controller/Human Machine Interface) 가 장착되어 있습니다. 이 기계의 로봇 암은 최대 500 밀리미터, 7 축의 활성 도달 범위를 가지며, 이는 자동 운송 및 보관 중 최대 400g 까지 섬세한 웨이퍼 처리를 허용합니다. 또한, 로봇은 전송 중 충돌로 인한 손상을 방지하도록 설계되었습니다. 로봇은 다중 기계 공구에서 시간당 최대 250 개의 웨이퍼, 또는 시간당 최대 3600 개의 웨이퍼를 전송 할 수 있습니다. 이 자산은 또한 비전 (vision) 기반 카메라 모델과 완전 자동화 추적 장비를 제공하여 웨이퍼 식별 (wafer identification) 및 전송 (transfer) 을 완전히 자동화합니다. 이는 광 인식 및 바코드 읽기 활동의 조합을 통해 달성됩니다. 또한, 이 시스템에는 E-STOP 및 안전 도어 인터록 (Safety Door Interlock) 을 포함한 다양한 안전 시스템이 있으며, 위험한 상황을 예방하고 인력을 피해로부터 보호합니다. 마지막으로, 이 장치는 완전히 프로그래밍 가능합니다. 즉, 모든 프로세스와 설정을 효과적으로 프로그래밍할 수 있습니다. 여기에는 동작, 경로, 속도 데이터가 포함되며 PLC/HMI와 결합되어 깨끗하고 효율적인 웨이퍼 전송 머신이 생성됩니다. 이 툴은 고객이 필요로 하는 모든 환경에 맞게 맞춤형 (custom-tailed) 방식으로 프로그램하고 구성할 수 있습니다. 자산은 또한 신뢰성이 높으며 지속적인 피드백 (feedback) 을 제공하여 매번 중단되지 않고 안전한 웨이퍼 전송 프로세스를 제공합니다.