판매용 중고 STAUBLI RX90 #9277556
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STAULI RX90 웨이퍼 핸들러 (STAUBI RX90 wafer handler) 는 반도체 업계에서 실리콘 또는 기타 재료 웨이퍼를 한 지점에서 다른 지점으로 이동하기 위해 사용되는 로봇 암입니다. 기존 제품 라인에 손쉽게 통합할 수 있도록 설계되었으며, 가장 까다로운 제조 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성 (Flexibility) 과 정밀성 (Precision) 을 제공합니다. STAUBLI RX 90의 드로 프레임은 알루미늄과 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 제작되어 강력하고 신뢰할 수 있습니다. 여기에는 다양한 프로세스 압력을 제어 할 수있는 가압 (pressurized) 셀 구획이 포함됩니다. 드로우 프레임에는 5 축 동작 제어가 포함되어 있으며, 웨이퍼를 전송할 때 탁월한 정확성과 안정성을 제공합니다. 또한, 드로우 프레임 (draw frame) 에는 공압 수직 이동 범위가 포함되어 있으므로 테이블 상단 및 서랍을 정확하게 전송할 수 있습니다. 선택적 진공 회선 (vacuum line) 을 부착하여 웨이퍼 전송의 범위와 정확성을 확장 할 수도 있습니다. RX90에는 터치 스크린 인터페이스 (Touchscreen Interface) 와 온보드 소프트웨어 (Onboard Software) 가 장착되어 프로세스 매개변수 및 엔드 이펙터 동작에 대한 고급 제어 기능을 제공합니다. wafer transfer arm, wafer lifter 및 vacuum 구성 요소를 포함한 여러 최종 이펙터를 제어 할 수 있습니다. 또한 다양한 통신 포트 (Communication Port) 를 통해 외부 주변 장치에 연결할 수 있습니다. 안전성 측면에서 RX 90에는 적외선 센서, 광전 센서, 내장 비상 정지 시스템 (Emergency Stop System) 등 웨이퍼 처리를 위한 여러 Fail-Safe 메커니즘이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '나" 핸들러' 자체 가 손상 되기 전 에 잠재적 으로 위험 한 운동 을 방지 할 수 있다. STAUBLI RX90은 유지 관리가 용이하며, 쉽게 교체 가능한 부품과 온보드 (onboard) 예방 유지 관리 시스템을 갖추고 있습니다. 이 제품은 모든 규모의 자동 생산 라인에 설치하는 데 적합하며, 다운타임을 줄이고, 생산성을 향상시킵니다. 전반적으로 STAUBLI RX 90은 안정적이고 정확한 웨이퍼 핸들러로, 사용자에게 높은 수준의 유연성과 정확성을 제공합니다. 강력한 구성과 고급 제어 (Advanced Control) 기능을 통해 자동화된 생산 라인에서 웨이퍼를 처리할 수 있는 안정적인 솔루션을 제공합니다.
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