판매용 중고 STAUBLI RX90 #9257269

Stäubli STAUBLI RX90 웨이퍼 핸들러는 클린 룸 환경에서 웨이퍼 스택을 관리하고 웨이퍼 전송을 자동화하도록 설계된 자동 도구입니다. 주요 목적은 프런트엔드 및 백엔드 반도체 프로세스의 웨이퍼 전송 작업을 단순화하는 것입니다. Stäubli STAUBLI RX 90은 로우 프로파일 (low profile) 이있는 소형 웨이퍼 핸들러로, 빈 공간에 맞출 수 있습니다. 통합 로봇 암 (robotic arm) 을 사용하여 정밀 제어를 통해 웨이퍼 스택을 한 위치에서 다른 위치로 운송 할 수 있습니다. 또한 높은 각도로 웨이퍼 스택 (wafer stack) 에 도달 할 수 있으며, 높은 천장 건물에서도 웨이퍼 스택 (wafer stack) 에 쉽고 안전하게 액세스 할 수 있습니다. RX90에는 이중 EVG 웨이퍼 그래버가 있으며, 이를 통해 여러 개의 그래버를 동시에 사용할 수 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 전송 속도 (wafer transport rate) 가 증가하고 장비가 더 효율적으로 작동 할 수 있습니다. 소프트웨어 제어 시스템 (Software Control System) 은 웨이퍼가 지정된 위치로 안전하고 안정적으로 전송되도록 보장하는 반면, 다양한 기능을 통해 안정적인 연결을 보장하고 먼지 오염을 방지할 수 있습니다. 또한, 다양한 액세서리를 사용하여 시스템 기능을 확장할 수 있습니다. Stäubli RX 90은 프런트엔드 및 백엔드 프로덕션 프로세스의 요구를 모두 충족하도록 설계되었습니다. 이 장치는 표준 웨이퍼 (wafer) 수송 기능 외에도 특수 웨이퍼 (예: 키 큰 면이나 넓은 면이나 크기가 다른 웨이퍼) 도 처리 할 수 있습니다. 또한 게이트 산화물 층 (gate oxide layer) 으로 웨이퍼 스택을 운반하여 필요할 때 가스 흐름을 최적화 할 수 있습니다. Stäubli STAUBLI RX90 모듈 식 디자인도 필요한 경우 다양한 추가 기능을 추가 할 수 있습니다. 유연한 아키텍처를 통해 사용자는 프로세스의 요구 사항에 따라 시스템을 구성할 수 있으며, 견고한 인코더 (encoder) 를 통해 정확한 포지셔닝을 수행할 수 있습니다. 이 기계는 또한 특수 스팟 제어 도구 (specialized spot control tool) 를 갖추고 있으며, 전송 중 각 웨이퍼 스택의 정확한 위치를 감지 할 수 있습니다. Stäubli STAUBLI RX 90은 매우 다재다능하며 다양한 클린 룸 환경에서 사용할 수 있습니다. Stäubli RX90 (Stäubli RX90) 은 제조 웨이퍼, 공급 또는 재고 관리, 전체 장소 관리를위한 것이든, 안정적이고 효율적인 웨이퍼 운송 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 이러한 기능의 조합은 프런트엔드 (Front) 와 백엔드 (Back End) 반도체 프로세스에 이상적인 선택입니다.