판매용 중고 STAUBLI RX90 #9010342

STAUBLI RX90 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 반도체 웨이퍼의 높은 처리량, 정밀 처리를 위해 설계된 로봇 암입니다. STAUBLI RX 90에는 6 개의 동작 축이 있으며 최대 600mm의 3D 움직임을 수행 할 수 있습니다. 여기에는 5 개의 조인트 모터가 있으며, 4 개는 로봇의 손목을 구동하고 1 개는 최대 속도를 제어합니다. RX90의 정적 용량은 최대 50kg이며 3 "~ 8" 범위의 다양한 크기의 반도체 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 추가된 기능으로, RX 90은 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 및 프로그래머블 로직 제어 (Programmable Logic Control) 기능을 제공하여 엔지니어가 프로세스 결과를 모니터링하고 데이터를 분석하고 사용자 정의 명령을 생성할 수 있습니다. STAUBLI RX90에는 저임피던스 (low-impedance) 선형 액추에이터가 장착되어 있어, 저전력, 고정밀 동작이 가능하므로 웨이퍼 배치가 정확하고 손상없이 처리됩니다. 또한 특이성 제어 기능 (singularity control function) 이 장착되어 합동 모터가 위험한 수준의 토크를 유지하지 못하게합니다. 또한 STAUBLI RX 90에는 통합 시력 장비가 포함되어 있으며, 시력 안내 및 마커 인식 기능이있는 2 개의 카메라로 구성되어 있습니다. 이 시스템은 자동 웨이퍼 인덱싱 프로세스, 패턴 인식 및 웨이퍼 정렬을 허용합니다. 시력 장치는 또한 완전 자동화 된 진공 흡입 장치 (vacuum suction machine) 를 사용하여 안전한 공구 그립 및 균일 한 웨이퍼 이동을 허용합니다. RX90은 STAUBLI SCARA 기술에서 실행됩니다. 즉, 고유 한 프로그래밍 된 모션 경로뿐만 아니라 안정적인 토크와 높은 가속 속도를 모두 갖습니다. 이렇게 하면 웨이퍼 처리가 정확하고 효율적입니다. 또한 RX 90은 STAUBLI 스마트 카드 (Smart Card) 도구와 호환되므로 수동 개입 없이 빠르고 쉬운 맞춤형 로봇 프로그래밍이 가능합니다. STAUBLI RX90 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 안정적이고 효율적인 로봇 암으로 반도체 웨이퍼를 고르고 배치하기 위해 설계되었습니다. 견고한 구성과 능률적인 설계로 안전하고 정확하게 정밀하게 배치할 수 있습니다. 통합된 비전 자산 (vision asset) 과 맞춤형 소프트웨어 (customizable software) 는 정렬, 테스트 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다.