판매용 중고 STAUBLI RX90 #9009146

STAUBLI RX90 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 공장 자동화에서 안전하고 효율적인 웨이퍼 처리를 가능하게 하도록 설계된 로봇으로, 여러 웨이퍼를 한 번에 전송해야 합니다. 이 로봇은 액추에이터, 제어 장비, 웨이퍼 그리퍼, 웨이퍼 지원 플레이트 및 베이스 플레이트의 5 가지 구성 요소로 구성됩니다. 액추에이터는 3 개의 고성능 모터를 갖춘 최적화 된 더블 암 시스템으로 구성되며, 각각 최대 255Kg를 지원할 수 있습니다. 제어 장치 (Control Unit) 는 사전 프로그래밍이 가능하고 빠르고 정확한 이동이 가능한 고성능 서보 제어 시스템입니다. 웨이퍼 지지판 (wafer supportplate) 은 산화를 방지하고 오염 물질에 내성이있는 미네랄로 채워진 폴리 카보네이트 코팅이있는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어진다. 웨이퍼 그리퍼 (wafer gripper) 는 웨이퍼 모서리를 손상시키거나 과정에서 뒤틀기를 일으키지 않고 웨이퍼를 고정시킬 수 있도록 설계되었습니다. 베이스 플레이트 (Base Plate) 는 로봇 부품을 공장 바닥에 장착하기 위한 안전한 플랫폼을 제공합니다. 로봇은 X, Y 및 Z 축에서 3 도의 자유도로 움직일 수 있으며, 베이스 플레이트를 중심으로 회전할 수 있습니다. 최대 600mm/min의 속도로 최대 4 개의 8 "웨이퍼를 정확하게 전송 할 수 있습니다. 또한, 로봇의 동적 도달 범위는 610mm이며 최대 700mm 높이의 웨이퍼를 들어 올릴 수 있습니다. STAUBLI RX 90 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 웨이퍼 처리 프로세스의 효율성을 극대화하고 오염과 웨이퍼 손상 위험을 제한하도록 설계되었습니다. 또한 고급 안전 기능과 손쉬운 작동을 위한 휴먼 머신 인터페이스도 갖추고 있습니다. RX90 웨이퍼 핸들러는 공장 자동화를 위한 안정적이고 고급 솔루션입니다. 탁월한 성능과 견고한 디자인으로 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 고속 성능, 고급 안전 기능, 최적화된 설계를 갖춘 RX 90 웨이퍼 핸들러 (RX 90 Wafer Handler) 는 다양한 웨이퍼 처리 작업에 적합합니다.