판매용 중고 STAUBLI RX90 LCRfsi #9255544

STAUBLE STAUBLI RX90 LCRfsi는 자동 운송, 검사 및 도량형 시스템에 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 그것 은 "웨이퍼 '와 기타 기판 들 을 그 모양 이나 물질 이 무엇 이든, 최소적 인 왜곡 으로 신속 하고 정확 하게 전달 하도록 설계 되었다. 독특한 LCR (Linear Cartesian Robotics) 디자인은 부드럽고 빠르게 움직이며 비교할 수없는 정확성을 보장합니다. 독점적 인 SSD (Smooth Spindle Drive) 를 사용하여 X, Y 및 Z의 3 가지 축을 따라 선형 동작을 만듭니다. 이를 통해 로봇은 모든 축에서 1 미크론을 초과하는 해상도로 5,000 mm/sec의 속도로 이동할 수 있습니다. 또한 RX90에는 기판 크기나 모양에 관계없이 일관되게 제어되는 잡아당기는 힘을 자동으로 유지하는 FRS (Force Reactive Suspension) 시스템 (Force Reactive Suspension) 이 장착되어 있으며, 전송 중 기판의 보안 그립을 보장합니다. 이것 은 "로봇 '의" 그립' 에 있는 동안 기판 을 긁거나 빼거나 손상 시킬 위험 을 감소 시킨다. 또한 통합 비전 시스템 (Integrated Vision System) 을 갖추고 있으며, 1.5m 이상의 해상도로 기판을 검사하고 측정 할 수 있습니다. 또한 RX90의 매우 정확한 LCR 설계를 통해 정방향 (Forward) 및 역방향 (Reverse) 동작 모두에서 총 16도 자유도를 유지할 수 있습니다. 이렇게 하면, 일반적으로 다른 로봇 시스템에서 볼 수 있는 흔들림 (wobble) 을 최소화할 수 있으며, wafer 가 특정 시점에 항상 정확하게 배치됩니다. 또한, 설계는 전체 전송 경로를 따라 균일 한 기판 지원을 보장하고 진동 및 충돌 위험을 줄입니다. 전반적으로 STAUBLE RX90 LCRfsi는 혁신적이고 다목적 인 웨이퍼 핸들러로, 반도체 업계에서 발견되는 고급 프로세스를 위해 설계되었습니다. 고급 LCR 설계, 직관적인 포스 리액티브 서스펜션 (reactive suspension) 및 통합 비전 시스템 (integrated vision system) 은 모든 제작 연구소에 이상적인 선택입니다. 최대 5,000mm/sec의 속도 (최대 1m) 로 최고 효율과 정확도로 기판을 전송하고 검사 할 수 있으며, 해상도는 최대 1m입니다.