판매용 중고 STAUBLI RX90 CRfsi #9255569

STAUBLI RX90 CRfsi는 반도체 및 전자 제조 산업을 위해 특별히 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러 로봇입니다. 이 로봇 장비는 제조 환경 전반에 걸쳐 안정적이고, 정확하고, 효율적인 웨이퍼 전송을 제공합니다. RX90 CRfsi는 높은 처리량 반도체 어플리케이션 전용으로, 카세트, FOUP, FOSB 등의 웨이퍼 전송이 부드럽고 정확하며 동기화되었습니다. STAUBLI RX90 CRfsi는 fieldbus, PLC 및 디지털 입/출력을 위한 유연한 I/O 옵션을 제공하여 사용자가이 웨이퍼 핸들러를 기존 공장 자동화 시스템에 통합 할 수 있습니다. 이 장치는 카메라 추적 웨이퍼 이동이 내장 된 vision guided 응용 프로그램에도 사용할 수 있습니다. 이 매우 정확 하고 정확 한 "웨이퍼 '처리기 는 인간 의 접촉 을 최소화 하고 오염 을 제거 하도록 설계 되었다. RX90 CRfsi는 2 개의 동기화 된 카티시안 축과 웨이퍼 처리를 위해 확장 암을 사용합니다. X 축과 Y 축 모두에 대해 ± 0.005mm의 반복 가능성과 1,000mm/s의 최대 속도를 갖습니다. 이 로봇 머신은 200mm에서 450mm까지 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 자동 패들 교환 (Automatic Paddle Exchange), 웨이퍼 자동 배출 (Automatic Disjection of Wafer) 및 최적화된 처리를 위한 조절 가능한 압력 도구와 같은 기능이 제공됩니다. 이 기능은 웨이퍼가 정전기에 노출되지 않으며, 부드럽고 정확한 웨이퍼 전송을 제공합니다. STAUBLI RX90 CRfsi (vacuum pump) 는 정확한 속도로 웨이퍼 전송과 정확한 배치를 보장하는 비전 에셋을 제공하는 통합 진공 펌프를 갖추고 있습니다. 이 모델은 또한 오류 감지 및 제어를 특징으로하며, 포괄적인 오류 처리 솔루션을 제공합니다. RX90 CRfsi는 또한 특허를받은 밀봉 시스템을 통해 수분 및 입자 관리로부터 효율적인 장비 유지 보수를 제공합니다. 전반적으로 STAUBLI RX90 CRfsi는 높은 처리량 반도체 어플리케이션을 위해 설계된 안정적이고 정확한 자동 웨이퍼 핸들러 장치입니다. 이 "로봇 '공구 는 정확 한 반복 가능성, 조정 가능 한 압력 기계, 오류 처리 능력 을 가지고 있으며, 제조 환경 전체 에 걸쳐 빠르고, 정확 하고, 신뢰 할 수 있는" 웨이퍼' 전송 및 취급 을 할 수 있다.