판매용 중고 STAUBLI RX60 #9205969

STAUBLI RX60은 자동 웨이퍼 전송 시스템을 위해 설계된 고속 웨이퍼 핸들러입니다. 신뢰성 있는 작동을 위한 견고하고 낮은 진동 장비와 포지셔닝 정확성을 위한 정밀 선형 베어링 시스템 (precision linear bearing system) 을 갖추고 있습니다. RX60 웨이퍼 핸들러는 x, y 및 z 방향으로 웨이퍼를 정확도와 속도로 움직일 수있는 로봇 암입니다. 웨이퍼 상자, 공정 챔버 및 개별 연산자 사이에서 웨이퍼를 이동합니다. STAUBLI RX60 로봇 암에는 통합 회전 조인트를 포함하여 6 개의 이동 축이 있습니다. 최대 웨이퍼 크기 용량은 200mm (wafer size capacity) 이며 재료 등급에 따라 각 축에 최대 8 개의 웨이퍼를 보유 할 수 있습니다. 그 속도 와 정확도 는 인간 사업자 들 이 할 수 있는 일 을 훨씬 능가 하여, 정밀 재료 의 적재, 언로드 (언로드), 취급, 수송 (운송) 과 같은 임무 를 저비용 으로 수행 할 수 있게 해 준다. RX60 의 옵티컬 머신 (optical machine) 은 자동화된 표면 식별을 지원하며 웨이퍼 당 하나의 정보 계층을 입력할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 도구는 또한 로드 포트 기기 (load port instruments) 와 같은 외부 장비와의 연결을 지원하며, 사용자는 복잡한 프로그래밍 없이 작업을 프로그래밍하고 제어할 수 있습니다. STAUBLI RX60의 디자인은 안정성과 긴 운영 수명을 보장합니다. 강력한 차체는 부식 방지 (Anti-부식 방지) 및 내마모성 (마모성) 외관과 통합되어 가혹한 환경에서 사용하기에 적합합니다. 또한, 로봇에는 로봇의 기능과 성능을 모니터링하고 분석하는 수많은 내장 센서 (BIST) 와 진단 도구 (Diagnostics Tool) 가 장착되어 있습니다. 따라서 사용자가 비정상을 감지하고 필요한 경우, 수정 조치를 취할 수 있습니다. RX60은 다양하고 정확하며 효율적인 웨이퍼 처리기입니다. 즉, 자동화된 시스템의 웨이퍼를 이동하고 처리할 수 있는 안정적이고, 정확하며, 비용 효율적인 방법을 제공합니다. 사용이 간편한 인터페이스, 고성능 기능, 고급 기술 기능을 통해 자동화된 웨이퍼 (Wafer) 처리 및 전송 시스템을 완벽하게 선택할 수 있습니다.