판매용 중고 STAUBLI RX60 #9205960

제조사
STAUBLI
모델
RX60
ID: 9205960
빈티지: 1999
Robot 1999 vintage.
STAUBLI RX60은 실험실 및 생산 프로세스에 대한 웨이퍼를 효율적으로 정렬, 운송 및 정렬하도록 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 디바이스는 각각 특정 기능을 수행하도록 설계된 여러 유닛 (unit) 또는 모듈 (module) 로 구성됩니다. 모듈에는 흡기 장치, 정렬 장치, 웨이퍼 전송 및 경압 동력 정렬이 포함됩니다. 각 모듈은 맞춤형 (custom) 방식으로 결합할 수 있으므로 RX60 은 다양한 애플리케이션에 적합한 구성 기능이 뛰어난 로봇 솔루션입니다. STAUBLI RX60의 흡기 모듈은 검사 시스템, 그리드 베이, 테스트 플레이트, 표준 캐리어 등 다양한 소스에서 들어오는 웨이퍼를 빠르고 정확하게 처리하도록 설계되었습니다. 이 모듈은 빠르게 웨이퍼를 이동하고 움직임을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 흡기 모듈은 다양한 웨이퍼 크기를 쉽게 수용 할 수 있도록 조정 가능한 웨이퍼 간격 (wafer gap) 으로 설계되었습니다. RX60 의 정렬 장치 (Sorting Unit) 는 손쉽게 검색할 수 있도록 웨이퍼를 여러 저장소와 스택으로 효율적으로 분류하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 ID (wafer ID) 나 다이 크기 (die size) 와 같은 다양한 기준에 따라 웨이퍼를 정렬할 수 있습니다. 정렬 장치에는 다양한 웨이퍼 (wafer) 모양을 쉽게 수용할 수 있도록 조정 가능한 기울기 각도가 있습니다. STAUBLI RX60 의 웨이퍼 (wafer) 전송은 장치의 입력 (input) 및 출력 (output) 끝 사이를 반복적으로 신뢰할 수 있도록 설계되었습니다. "웨이퍼 '수송 은 고도 의 정확성 과 신뢰성 을 지닌" 브러쉬' 없는 "모토 '로 구동 된다. 또한 이 모듈에는 장치가 속도와 위치를 미세하게 조정할 수 있는 피드백 (feedback) 시스템이 포함되어 있습니다. 또한, 웨이퍼 (wafer) 수송에는 고급 안전 센서가 장착되어 있어 수송 중 웨이퍼 상태를 정확하게 모니터링 할 수 있습니다. RX60 (light pressure motorized alignment module) 은 장치가 필요한 위치에 들어오는 웨이퍼를 정확하고 빠르게 정렬할 수 있도록 설계되었습니다. 이것은 브러시리스 모토 (brushless moto) 로 구동되는 정밀한 공압 구동 장치 (pneumatic drive unit) 와 웨이퍼 정렬을 미세하게 조정하는 저압 막 시스템 (low-pressure membrane system) 을 사용하여 수행됩니다. 모듈은 원하는 방향으로 "웨이퍼" 를 빠르고 정확하게 배치할 수 있습니다. STAUBLI RX60은 실험실 및 생산 프로세스에 대한 웨이퍼를 효율적으로 정렬, 운송 및 정렬하도록 설계된 일체형 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치는 여러 개의 모듈로 구성되어 있으며, 흡입, 정렬, 수송, 경압 동력 정렬과 같은 고유 한 기능을 수행하도록 설계되었습니다. 각 모듈은 다양한 방식으로 구성, 사용자 정의할 수 있으며, RX60 은 다양한 애플리케이션과 wafer 크기에 적합한 로봇 솔루션입니다.
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