판매용 중고 STAUBLI RX60 #9205957

Stäubli STAUBLI RX60은 자동 반도체 제조 프로세스에 사용되는 멀티 축 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 직경 150mm의 최대 6 개의 웨이퍼를 안전하고 정확하게 처리 할 수있는 정확한 멀티 축 동작 시스템을 사용하여 안정적이고 견고한 디자인을 제공합니다. RX60 은 운영 라인 환경에서 자동화된 장비 플랫폼에 직접 장착할 수 있도록 설계되었으며, 웨이퍼 로드 (Wafer Loading), 언로드 (Unloading), 스크리닝 (Screening) 및 관련 프로세스에 최적화된 솔루션을 제공합니다. STAUBLI RX60 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 스테퍼 모터를 사용하여 뛰어난 동작 기능을 제공하며, 더 높은 수준의 정밀도를 제공하는 서보 모터 옵션을 제공합니다. 모든 축은 단일 타이밍 벨트를 통해 구동되며, 동작 동기화를 위해 개별적으로 제어할 수 있습니다. 다양한 반복성 수준과 최적화된 속도를 제공하기 위해 다양한 기어 비율 (gear ratio) 을 사용할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러에는 선택적 전기 및 기계 웨이퍼 처리 시스템 (electrical and mechanical wafer handling system) 과 2 개의 웨이퍼 클램핑 시스템 (clamping system) 이 장착되어 있습니다. 동력 팔에는 전동식 웨이퍼 클램핑 메커니즘이 포함되어 있어 웨이퍼 (wafer) 의 안전한 부착을 보장하고 동작 드리프트를 방지합니다. 또한, 공압 웨이퍼 클램핑 메커니즘은 소프트 터치 (soft touch) 기능과 함께 사용할 수 있는데, 이 기능은 웨이퍼를 팔에 부드럽게 움직이고 안정성을 높입니다. 모든 부품은 유지 보수 (maintenance) 가 가능하도록 설계되었으며, 소형 바디에 내장되어 있어 공간 제한 장비에 적합합니다. RX60 웨이퍼 핸들러 (RX60 Wafer Handler) 는 다양한 장비 플랫폼과 쉽게 통합할 수 있는 모듈식 울프 (wulf) 모듈과 다양한 매개변수를 모니터링하고 제어하는 데 사용할 수 있는 고급 원격 인터페이스를 갖추고 있습니다. 울프 (wulf) 모듈은 동시 입력 및 출력도 지원하므로 여러 기계를 연결하여 편리하게 연결할 수 있습니다. Stäubli STAUBLI RX60은 자동 반도체 생산 프로세스의 정확성과 신뢰성을 위해 특별히 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 다양한 효율적인 모션 기능, 전기 및 기계 처리 시스템 (Selectable Electrical and Mechanical Handling System), 공압 또는 전동식 웨이퍼 클램핑 기능을 갖춘 컴팩트한 모듈식 디자인으로, 동작 드리프트 없이 웨이퍼를 안전하게 전송할 수 있습니다. 고급 원격 인터페이스 (Advanced remote interface) 를 통해 모든 매개변수를 간편하게 모니터링하고 제어할 수 있으며, 웨이퍼 로드, 언로드, 스크리닝, 관련 반도체 프로세스를 위한 최적의 솔루션을 제공합니다.